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X型硅壓力傳感器結(jié)構(gòu)，它在單晶硅片*蝕刻正方形的膜片，作為上方壓力承受區(qū)，并用離子注入工藝制作出四個(gè)X型排列的壓敏電阻，當(dāng)腐蝕腔為真空時(shí)，傳感器所測(cè)壓力為壓力，當(dāng)腐蝕下方一小孔時(shí)，則成為差壓傳感器。與一般的壓阻傳感器不同的是，四個(gè)壓敏電阻并沒(méi)組成惠斯通電橋，在X型電阻的兩端加一偏置電壓，形成一個(gè)電流，當(dāng)有剪切應(yīng)力作用時(shí)，將會(huì)產(chǎn)生一個(gè)垂直于電流方向的電場(chǎng)，電場(chǎng)變化引起電位變化，在X型電阻的另兩面三刀端可得到由被測(cè)壓力引起的輸出電壓，典型的摩托羅拉MPX系列硅壓力傳感器就是據(jù)此制造的，具有靈敏度高、線性度好、精度高、長(zhǎng)期重復(fù)性好的特點(diǎn)。
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