支撐材料:成果頻出 項目加碼

           在我國半導體產業快速增長的帶動下，近幾年來我國半導體支撐
材料產業有了相當的發展，取得了明顯的進步。在IC CHINA 2006
期間，國內半導體支撐材料主要企業集中展示了其成果，并發布
了其動態和策略。

　　有研硅股：
    建成12英寸硅單晶拋光片中試線

　　進入21世紀以來，集成電路制造技術進入了新一輪的快速發
展時期，0.13-0.10微米直徑12英寸集成電路技術開始進入市場，對
直徑12英寸硅片的需求也由技術研發轉變為現實的市場需求。為適應
半導體產業的發展，有研硅股在*和北京市政府的共同支持
下，攻克了大直徑硅單晶生長、大直徑硅片加工、分析檢測等一系列
技術難關，開發成功全套生產工藝，申請22項，并建成了我國第
一條月產1萬片、直徑12英寸硅單晶拋光片中試生產線。
　　公司技術人員在“863”計劃戰略性、前沿性、前瞻性定位要求
下，在不到5年的時間里，走過了從大直徑單晶生長到拋光片成品的
近30道關鍵工序的技術方案設計、設備選型、工藝研究的全過程；跨
越了從關鍵技術研究向連續化生產的中試生產線導入的轉變；經歷了
從研究開發樣品到批量生產產品的客戶檢測和供貨評估的艱難歷程，
實現了我國直徑12英寸硅單晶拋光片生產零的突破。

　　科華微電子材料：
    即將建設百噸級正膠生產線

　　北京科華微電子材料有限公司是2004年8月注冊成立的中美合資
企業，主要從事超大規模集成電路、分立器件和液晶顯示器件制作用
光刻膠及配套試劑的生產與研發，是目前國內同時集光刻膠研發與生
產、銷售于一身的專業性*企業。公司擁有國內外的具有
多年光刻膠研發經驗的專家隊伍、高素質的管理團隊和具有*
水平的分析和應用測試設備。公司擁有已建成投產的北京燕山生產基
地、位于美國波士頓的光刻膠研發實驗室及正在建設中的北京天竺光
刻膠及配套試劑的生產基地。公司即將在北京天竺出口加工區建設百
噸級正膠生產線。

　　華誼微電子材料：
    建成15000噸級電子化學品項目

　　上海華誼集團公司在“十五”期間成功承擔了國家“863”超大
規模集成電路配套材料重大專項中超純試劑工藝研究開發任務。在產
業化建設進程中與中國臺灣聯仕電子化學材料股份有限公司以各50%股份
合資成立了上海華誼微電子材料有限公司（華誼微電子）。公司集化學
品提純、高純高凈分析檢測、包裝、售后服務為一體。
　　經過一年多的建設，華誼微電子年產15000噸的微電子化學品項
目已建成，并于9月8日舉行開業典禮。項目包括超大規模集成電路制
造過程中需要的硫酸、過氧化氫、氨水、氟化銨、硝酸、鹽酸、醋酸、
BOE等各主要品種，產品質量達到SEMIC12標準，可以滿足12英寸
芯片的制造工藝要求。項目的建設將改變我國國內超大規模集成電路
制造業超純高凈試劑化學品依靠進口的局面。“十一五”期間，華誼
微電子將在已建成的萬噸級微電子化學品裝置基礎上，繼續提高產品
質量以滿足半導體制造業的需要，以更好地為客戶提供高品質服務。

　　晶瑞化學：
    100ppt級雙氧水項目將投產

　　蘇州晶瑞化學有限公司是一家集開發、生產、營銷微電子用高純
化學品的高新企業。產品包括氫氟酸、過氧化氫、異丙醇、氨水、硫
酸、硝酸、鹽酸、氟化銨、無水乙醇、丙酮、混酸蝕刻液等。產品廣
泛應用于超大規模集成電路和TFT-LCD面板制造過程中的蝕刻與
清洗。已投入使用的一期工程，建筑面積3200平方米，萬級（局部百
級）凈化廠房400平方米。年產5000噸各類超高純化學試劑。2006年2
月公司與比利時Solvay公司合資建立了蘇州蘇瑞電子材料有限公
司（Interox-SEM Co.，Ltd），專注于開發、生產、營銷超高純雙
氧水，公司設計年產4000噸100ppt級雙氧水，產品規格可以滿足8-
12英寸IC芯片生產工藝要求，預計將在2006年10月份全面投產。

　　光明化工研究設計院：
    組建電子氣體工程研究中心

　　隨著我國IC產業的高速發展，IC產業關鍵支撐材料高純電子氣體
的需求呈現大幅增長態勢。電子氣體國產化已成為降低IC制造成本、
增強競爭力、實現我國IC產業健康發展的必然。光明化工研究設
計院前身為化工部光明化工研究所，是以特種氣體（包括電子氣體）為
主導方向的科研機構。經過四十多年的發展，光明院已形成以特種氣
體、微電子、光電子關鍵支撐材料———電子化學品為主導的多種專
業并存的，集科研開發、工程設計、生產經營、技術服務、質量檢驗
為一體的綜合性科研機構?；瘜W工業（全國）氣體質量監督檢驗中心、
全國特種氣體信息中心均設在光明院。
　　光明院已確定組建電子氣體工程研究中心，工程中心將以光明院
為技術依托，以“科技成果產業化、運行機制企業化、發展方向市場
化”為核心，實現機制創新與技術創新相結合，建成高水平的電子氣
體研究開發、技術創新與產業化基地。