微小流量，熱式氣體質量流量計 熱式氣體質量流量控制器 返回列表頁

一、 產品概述

    熱式氣體質量流量計采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

   熱式氣體質量流量控制器能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

二、技術參數（本產品按Q/320500HH009-2014進行生產、校驗）

2.1  測量介質：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

2.2   流量范圍： DN3   100-1000ml/min

                 DN4   250-2500ml/min

                 DN6   1000-10000ml/min

                 DN8   1500-15000ml/min

                 DN10  2500-25000ml/min          

注：(a)以上流量的測量介質為空氣而言；

(b)以上流量的標準狀態20℃，101.325kPa。

2.3   流量測量準確度：±1.5%FS

2.4   工作溫度范圍：0-55℃；

2.5   工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa``

2.6   供電電源：24VDC±10%；

2.7   輸出信號：4-20mA，RS485通訊；

2.8   環境溫度：0-55℃；

2.9   顯示位數：瞬時流量為三位，累積流量10位。