加速度傳感器是一種可以測量加速度的傳感器。通常由質量塊、阻尼器、彈性元件、敏感元件和適調電路等局部組成。傳感器在加速過程中,經過對質量塊所受慣性力的測量,應用牛頓第二定律取得加速度值。依據傳感器敏感元件的不同,常見的加速度傳感器包括電容式、電感式、應變式、壓阻式、壓電式等。
加速度傳感器的分類:
1、壓電式:壓電式加速度傳感器又稱壓電加速度計。它也屬于慣性式傳感器。壓電式加速度傳感器的原理是應用壓電陶瓷或石英晶體的壓電效應,在加速度計受振時,質量塊加在壓電元件上的力也隨之變化。當被測振動頻率遠低于加速度計的固有頻率時,則力的變化與被測加速度成正比。
2、壓阻式:基于各地搶先的MEMS硅微加工技術,壓阻式加速度傳感用具有體積小、低功耗等特性,易于集成在各種模仿和數字電路中,普遍應用于汽車碰撞實驗、測試儀器、設備振動監測等范疇。
3、電容式:電容式加速度傳感器是基于電容原理的*距變化型的電容傳感器。電容式加速度傳感器/電容式加速度計是比照較通用的加速度傳感器。在某些范疇,如平安氣囊,手機挪動設備等。電容式加速度傳感器/電容式加速度計采用了微機電系統(MEMS)工藝,在大量消費時變得經濟,從而保證了較低的本錢。
4、伺服式:伺服式加速度傳感器是一種閉環測試系統,具有動態性 能好、動態范圍大和線性度好等特性。其工作原理,傳感器的振動系統由 "m-k”系統組成,與普通加速度計相同,但質量m上還接著一個電磁線圈,當基座上有 加速度輸入時,質量塊偏離均衡位置,該位移大小由位移傳感器檢測出來,經伺服放大器 放大后轉換為電流輸出,該電流流過電磁線圈,在永世磁鐵的磁場中產生電磁恢復力,力圖使質量塊堅持在儀表殼體中原來的均衡位置上,所以伺服加速度傳感器在閉環狀態下工作。
由于有反應作用,加強了抗干擾的才能,進步測量精度,擴展了測量范圍,伺服加速度丈量技術普遍地應用于慣性導航和慣性制導系統中,在高精度的振動丈量和標定中也有應用。