CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計(jì)專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補(bǔ)小償算法，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn)，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。

? 準(zhǔn)確度采用設(shè)定點(diǎn)精度，產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.，響應(yīng)時(shí)間≤ 0.5sec。

? CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補(bǔ)償功能，對前段氣體壓力的擾動(dòng)進(jìn)行有效的補(bǔ)償，減少壓力變化對瞬時(shí)流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

外置式高精度氣體配比器鄭科探 技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號	KT-PCS4Z	KT-C4ZS
氣體通道	4進(jìn)1出	4進(jìn)1出
	可根據(jù)需求定制
產(chǎn)品類型	高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制
可選量程	20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選)
產(chǎn)品精度	高精度型±1％F.S	普通型±1％F.S
重復(fù)精度	高精度型±0.2% F.S	普通型±0.2% F.S
線性	高精度型±0.5% F.S.	普通型±1% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	高精度型≤2sec	普通型≤4sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
供電電源	~85-265VAC 50/60Hz
功耗	40W
進(jìn)氣口壓	≤0.6MPa
連接管道	316不銹鋼管道
截止閥類型	電磁閥
單向閥開啟壓力	0.02Mpa
壓力顯示量程	0-0.6Mpa
控制方式	7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié)
時(shí)間設(shè)定	0-32000分鐘
清洗功能	一鍵清洗
程序控制	5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設(shè)定值)
壓力顯示	有（出氣壓力檢測且有壓力上限設(shè)置過壓切斷總輸出氣路）
氣體混合罐	有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻）
氣體加熱	無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調(diào)）
流量累計(jì)	有（累計(jì)當(dāng)前運(yùn)行總流量）
可選進(jìn)出氣口接頭形式	3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭
抗電磁干擾	有
外形尺寸	550x380x400mm
重量	18KG～20KG