兩英寸高真空冷熱型探針臺 產品用途：探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試，廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
高低溫探針臺系統達到≤10Pa即可進行低溫測試而無凝露或結霜。對于選用了入門級配置的用戶，可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標真空度，從而減少設備的配置預算。對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統進行抽真空。低溫探針臺系統可達10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設計了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時產生的振動，以確保系統的穩定，減少探針的移動。
該探針臺的承載臺為60＊60不銹鋼臺面，臺面可升溫到400℃ 低溫-190℃ 。兩英寸高真空冷熱型探針臺 真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為x/y/z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中x方向調節范圍：0--30mm; y方向調節范圍：0—20mm；z方向調節范圍：0—20mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需要檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架x/y/z方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。
兩英寸高真空冷熱型探針臺的技術參數：
真空腔體 |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側開 |
加熱臺材質 | 304不銹鋼 |
內腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺間距 | 75mm |
加熱臺溫度 | ﹣196~350℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭 | SMA轉BNC X 4 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
探針數量 | 4探針 |
探針材質 | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺 |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數 | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機 | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數 | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
