鄭科探 分子泵真空機組的原理
分子泵 (Molecular pump)是一種用于實現和維持高真空和超高真空環境的設備。它的工作原理基于氣體分子的動量傳遞，通過機械手段將氣體分子從真空系統中排出。
工作原理
分子泵的工作過程可以概括為以下幾個步驟
1.旋轉葉片:
分子泵內部有高速旋轉的葉片(或稱轉子)，通常以每分鐘數萬轉的速度旋轉。
葉片與定子之間形成非常小的間隙。
2.氣體分子的動量傳遞:
氣體分子在碰撞到高速旋轉的葉片時，會被賦予動量。
這種動量使得氣體分子沿葉片的旋轉方向被加速，逐步向泵的排氣口移動。3.多級結構:
分子泵通常具有多級葉片結構，通過多次碰撞和動量傳遞，使氣體分子逐級排出
每一級都進一步降低系統的壓力，達到所需的真空度。
分子泵的優勢
分子泵在高真空和超高真空應用中具有許多顯著的優勢:
1.高真空度:
分子泵能夠實現和維持非常高的真空度，通常可達到 10-9 Torr 甚至更低
適用于超高真空應用，如電子顯微鏡、表面科學研究等。
2.無油污染:
分子泵為干式泵，不使用油進行潤滑或密封，因此避免了油污染。
特別適用于需要超高潔凈度的真空環境。
3.高效:
由于其高轉速和多級結構，分子泵能夠在較短時間內達到目標真空度，適合需要快速抽真空的應用，如半導體制造和實驗室設備。
4.耐用性:
分子泵結構堅固，耐用性高，能夠長時間連續運行。
維護成本較低，因為沒有油的污染和相關的維護問題。
5.競壓力范圍:
分子泵能夠在寬范圍的壓力下工作，從大氣壓一直到超高真空。
能夠與其他類型的真空泵(如粗真空泵)聯用，實現更廣泛的應用。
應用
分子泵被廣泛應用于各種需要高真空和超高真空的領域，包括但不限于
半導體制造:用于光刻、沉積和蝕刻等工藝中。
真空鍍膜:用于制造光學薄膜和裝飾涂層。
電子顯微鏡:提供必要的超高真空環境以確保高分辨率
加速器和粒子物理實驗:維持實驗室中的高真空條件。
航空航天:用于模擬空間環境和測試衛星部件。
總之，分子泵以其高效、無油污染和高真空度等優勢，成為現代真空技術中的重要設備。
鄭科探 分子泵真空機組 技術參數：
控制方式 | 手動人機界面控制 |
前級泵接口 | KF25（客戶根據真空環境潔凈度要求自行安裝前級泵） |
分子泵 | FF-100/150 51000轉/分 |
分子泵抽氣速率 | 140L/S |
分子泵啟動時間 | ≤2min |
空載極限壓強 | ≤1X10-4Pa |
真空測量方式 | 冷陰極標準規管 |
真空測量范圍 | 1E﹢2到1E-5 Pa |
真空測量精度 | 1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數 重復性： ±5% |
抽氣接口 | KF25 |
閥門類型 | KF25手動擋板閥 |
系統電源 | AC220V |
系統功率 | ≤750W |
環境溫度 | 5~32℃ |
冷卻方式 | 強制風冷卻 |
濕度 | ≤80%RH |
外形尺寸 | 250 X360 X 300mm （寬-深-高） |
重量 | 25KG |
隨機配件：KF25高真空擋板閥X1個 KF25卡箍X3個 kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 冷陰極真空計X1個 |
