外置式氣體配比器，可選配七星各種系列流量計，觸摸屏控制調節不同時間不同流量氣體，操控簡單，
CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規模集成電路裝備設計的產品，該產品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統。
? 準確度采用設定點精度，產品精度可達±1.0% S.P.，響應時間≤ 0.5sec。
? CS300系列產品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產品工作的穩定性和準確性。
外置式氣體配比器技術資料
產品型號 | KT-PCS4Z | KT-C4ZS |
氣體通道 | 4進1出 | 4進1出 |
可根據需求定制 |
產品類型 | 高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制 |
可選量程 | 20sccm-30slm(氣體量程根據客戶需要可選) |
產品精度 | 高精度型±1％F.S | 普通型±1％F.S |
重復精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S |
線性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. |
響應時間 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
供電電源 | ~85-265VAC 50/60Hz |
功耗 | 40W |
進氣口壓 | ≤0.6MPa |
連接管道 | 316不銹鋼管道 |
截止閥類型 | 電磁閥 |
單向閥開啟壓力 | 0.02Mpa |
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa |
控制方式 | 7寸觸摸屏智能調節 |
時間設定 | 0-32000分鐘 |
清洗功能 | 一鍵清洗 |
程序控制 | 5段可編程序(時間-流量隨意設定值) |
壓力顯示 | 有（出氣壓力檢測且有壓力上限設置過壓切斷總輸出氣路） |
氣體混合罐 | 有（內置不銹鋼擾流板氣體混合均勻） |
氣體加熱 | 無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調） |
流量累計 | 有（累計當前運行總流量） |
可選進出氣口接頭形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 |
抗電磁干擾 | 有 |
外形尺寸 | 550x380x400mm |
重量 | 18KG～20KG |
