高精度真空探針臺：高低溫探針臺系統達到≤10Pa即可進行低溫測試而無凝露或結霜。對于選用了入門級配置的用戶，可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標真空度，從而減少設備的配置預算。對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統進行抽真空。低溫探針臺系統可達10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設計了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時產生的振動，以確保系統的穩定，減少探針的移動。

高精度真空探針臺技術參數：

真空腔體
腔體材質	304不銹鋼
上蓋開啟	鉸鏈側開
加熱臺材質	304不銹鋼
內腔體尺寸	φ160x90mm
觀察窗尺寸	Φ70mm
加熱臺尺寸	φ60mm
觀察窗熱臺間距	75mm
加熱臺溫度	﹣190--400℃
加熱臺溫控誤差	±1℃
真空度	機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓	≤0.1MPa
真空抽氣口	KF25真空法蘭
氣體進氣口	3mm-6mm卡套接頭
電信號接頭	SMA轉BNC X 4
電學性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V
探針數量	4探針
探針材質	鎢針
探針尖	10μm
探針移動平臺
X軸移動行程	30mm ±15mm
X軸控制精度	≤0.01mm
Y軸移動行程	13mm ±12.5mm
Y軸控制精度	≤0.01mm
Z軸移動行程	13mm ±12.5mm
Z軸控制精度	≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡
物鏡倍數	0.7-4.5倍
工作間距	90mm
相機	sony 高清
像素	1920※1080像素
圖像接口	VGA
LED可調光源	有
顯示屏	8寸
放大倍數	19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm