2L腔體等離子清洗機：用于表面清洗,活化,刻蝕等離子清洗機電源屬于150W 13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設備，主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。

詳細介紹

2L腔體等離子清洗機

等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質：處于高速運動狀態的電子；處于激活狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。

在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面．以達到清洗目的．

2L腔體等離子清洗機技術參數

供電電源	AC220V（AC110V可選)
工作電流	整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
射頻電源功率	150W
射頻頻率	13.56MHz
頻率偏移量	＜0.2MHz
特性阻抗	50歐姆，手動匹配
耦合方式	電容耦合
真空度	≤100Pa
腔體材質	高純石英
腔體容積	2L(內徑110MMX深度220MM)
觀察窗內徑	Φ65
氣體流量	10—100ml/min（其他量程可選）
過程控制	過程手動控制
清洗時間	手動開關
開蓋方式	鉸鏈側開式法蘭
外形尺寸	400x380x360mm
重量	23Kg
真空室溫度	小于65°C
冷卻方式	強制風冷
標配	KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網匣1個，電源線一根，說明書一本。