高真空分子泵機(jī)組的原理
分子泵 (Molecular pump)是一種用于實(shí)現(xiàn)和維持高真空和超高真空環(huán)境的設(shè)備。它的工作原理基于氣體分子的動(dòng)量傳遞，通過機(jī)械手段將氣體分子從真空系統(tǒng)中排出。
工作原理
高真空分子泵機(jī)組的工作過程可以概括為以下幾個(gè)步驟
1.旋轉(zhuǎn)葉片:
分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的葉片(或稱轉(zhuǎn)子)，通常以每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)的速度旋轉(zhuǎn)。
葉片與定子之間形成非常小的間隙。
2.氣體分子的動(dòng)量傳遞:
氣體分子在碰撞到高速旋轉(zhuǎn)的葉片時(shí)，會(huì)被賦予動(dòng)量。
這種動(dòng)量使得氣體分子沿葉片的旋轉(zhuǎn)方向被加速，逐步向泵的排氣口移動(dòng)。3.多級(jí)結(jié)構(gòu):
分子泵通常具有多級(jí)葉片結(jié)構(gòu)，通過多次碰撞和動(dòng)量傳遞，使氣體分子逐級(jí)排出
每一級(jí)都進(jìn)一步降低系統(tǒng)的壓力，達(dá)到所需的真空度。
分子泵的優(yōu)勢(shì)
分子泵在高真空和超高真空應(yīng)用中具有許多顯著的優(yōu)勢(shì):
1.高真空度:
分子泵能夠?qū)崿F(xiàn)和維持非常高的真空度，通常可達(dá)到 10-9 Torr 甚至更低
適用于超高真空應(yīng)用，如電子顯微鏡、表面科學(xué)研究等。
2.無油污染:
分子泵為干式泵，不使用油進(jìn)行潤(rùn)滑或密封，因此避免了油污染。
特別適用于需要超高潔凈度的真空環(huán)境。
3.高效:
由于其高轉(zhuǎn)速和多級(jí)結(jié)構(gòu)，分子泵能夠在較短時(shí)間內(nèi)達(dá)到目標(biāo)真空度，適合需要快速抽真空的應(yīng)用，如半導(dǎo)體制造和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。4.耐用性:
分子泵結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，耐用性高，能夠長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行。
維護(hù)成本較低，因?yàn)闆]有油的污染和相關(guān)的維護(hù)問題。
5.競(jìng)壓力范圍:
分子泵能夠在寬范圍的壓力下工作，從大氣壓一直到超高真空。
能夠與其他類型的真空泵(如粗真空泵)聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)更廣泛的應(yīng)用。
應(yīng)用
分子泵被廣泛應(yīng)用于各種需要高真空和超高真空的領(lǐng)域，包括但不限于
半導(dǎo)體制造:用于光刻、沉積和蝕刻等工藝中。
真空鍍膜:用于制造光學(xué)薄膜和裝飾涂層。
電子顯微鏡:提供必要的超高真空環(huán)境以確保高分辨率
加速器和粒子物理實(shí)驗(yàn):維持實(shí)驗(yàn)室中的高真空條件。
航空航天:用于模擬空間環(huán)境和測(cè)試衛(wèi)星部件。
總之，分子泵以其高效、無油污染和高真空度等優(yōu)勢(shì)，成為現(xiàn)代真空技術(shù)中的重要設(shè)備。
高真空分子泵機(jī)組技術(shù)參數(shù)：
控制方式 | 手動(dòng)人機(jī)界面控制 |
前級(jí)泵接口 | KF25（客戶根據(jù)真空環(huán)境潔凈度要求自行安裝前級(jí)泵） |
分子泵 | FF-100/150 51000轉(zhuǎn)/分 |
分子泵抽氣速率 | 140L/S |
分子泵啟動(dòng)時(shí)間 | ≤2min |
空載極限壓強(qiáng) | ≤1X10-4Pa |
真空測(cè)量方式 | 冷陰極標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管 |
真空測(cè)量范圍 | 1E﹢2到1E-5 Pa |
真空測(cè)量精度 | 1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數(shù) 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數(shù) 重復(fù)性： ±5% |
抽氣接口 | KF25 |
閥門類型 | KF25手動(dòng)擋板閥 |
系統(tǒng)電源 | AC220V |
系統(tǒng)功率 | ≤750W |
環(huán)境溫度 | 5~32℃ |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷卻 |
濕度 | ≤80%RH |
外形尺寸 | 250 X360 X 300mm （寬-深-高） |
重量 | 25KG |
隨機(jī)配件：KF25高真空擋板閥X1個(gè) KF25卡箍X3個(gè) kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 冷陰極真空計(jì)X1個(gè) |
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