高低溫真空探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試，廣泛應用于復雜，高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
該探針臺的承載臺為60*60不銹鋼臺面，臺面可升溫到400°C，真空腔體設計有進氣口和抽真空接口，探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移動調(diào)節(jié)。通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點，即可進行檢測。

詳細介紹

高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL

高低溫探針臺系統(tǒng)達到≤10Pa即可進行低溫測試而無凝露或結(jié)霜。對于選用了入門級配置的用戶，可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標真空度，從而減少設備的配置預算。對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統(tǒng)進行抽真空。低溫探針臺系統(tǒng)可達10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。

為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設計了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時產(chǎn)生的振動，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的移動。

高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL參數(shù)

真空腔體
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
上蓋開啟	鉸鏈側(cè)開
加熱臺材質(zhì)	304不銹鋼
內(nèi)腔體尺寸	φ160x90mm
觀察窗尺寸	Φ70mm
加熱臺尺寸	φ60mm
觀察窗熱臺間距	75mm
加熱臺溫度	﹣190--400℃
加熱臺溫控誤差	±1℃
真空度	機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓	≤0.1MPa
真空抽氣口	KF25真空法蘭
氣體進氣口	3mm-6mm卡套接頭
電信號接頭	SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
電學性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
探針數(shù)量	4探針
探針材質(zhì)	鎢針
探針尖	10μm
探針移動平臺
X軸移動行程	30mm ±15mm
X軸控制精度	≤0.01mm
Y軸移動行程	13mm ±12.5mm
Y軸控制精度	≤0.01mm
Z軸移動行程	13mm ±12.5mm
Z軸控制精度	≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡
物鏡倍數(shù)	0.7-4.5倍
工作間距	90mm
相機	sony 高清