高精度真空探針臺：可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領域。

詳細介紹

高精度真空探針臺的產(chǎn)品用途：探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試，廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領域。

高精度探針臺該探針臺的承載臺為60＊60不銹鋼臺面，臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為x/y/z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調節(jié)，其中x方向調節(jié)范圍：0--30mm; y方向調節(jié)范圍：0—20mm；z方向調節(jié)范圍：0—20mm；用戶可根據(jù)需要自行調節(jié)。使用時將需要檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架x/y/z方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。

高精度真空探針臺的技術參數(shù)：

真空腔體
腔體材質	304不銹鋼
上蓋開啟	鉸鏈側開
加熱臺材質	304不銹鋼
內腔體尺寸	φ160x90mm
觀察窗尺寸	Φ70mm
加熱臺尺寸	φ60mm
觀察窗熱臺間距	75mm
加熱臺溫度	﹣196~350℃
加熱臺溫控誤差	±1℃
真空度	機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓	≤0.1MPa
真空抽氣口	KF25真空法蘭
氣體進氣口	3mm-6mm卡套接頭
電信號接頭	SMA轉BNC X 4
電學性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V
探針數(shù)量	4探針
探針材質	鎢針
探針尖	10μm
探針移動平臺
X軸移動行程	30mm ±15mm
X軸控制精度	≤0.01mm
Y軸移動行程	13mm ±12.5mm
Y軸控制精度	≤0.01mm
Z軸移動行程	13mm ±12.5mm
Z軸控制精度	≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡
物鏡倍數(shù)	0.7-4.5倍
工作間距	90mm
相機	sony 高清
像素	1920※1080像素
圖像接口	VGA
LED可調光源	有
顯示屏	8寸
放大倍數(shù)	19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm