微型高溫探針臺：一體式不銹鋼腔體，手動調節探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置
KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺，結構小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實驗的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺采用分體結構，使得探針部分能從整個探針臺系統中獨立出來，可以應用于輻照實驗中，該探針臺也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測試。多探針結構可實現多路測試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測試數據更加準確。
微型高溫探針臺KT-Z4019MRL4T
真空腔體 |
類型 | 高溫型室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-190℃ |
腔體材質 | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 |
腔體內尺寸 | 127mmX57mmX20mm |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm |
腔體重量 | 不銹鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質 約0.5KG |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） |
腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） |
腔體進氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 |
腔體水冷接口 |
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腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
樣品臺 |
樣品臺材質 | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺尺寸 | 26x26mm |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） |
樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ |
樣品臺升溫速率 | 高溫100℃/min 低溫7℃/min |
溫控儀 |
溫度顯示 | 7寸人機界面 |
溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定 |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.5℃ |
溫度信號輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口 |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm |
溫控器重量 | 約5.6KG |
探針 |
電信號接頭 | 配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
探針數量 | 4探針（可擴展5探針） |
探針材質 | 鍍金鎢針 （其他材質可選） |
探針尖 | 10μm |
手動探針移動平臺 |
X軸移動行程 | 20mm ±10mm（需手動推動滑臺） |
X軸控制精度 | ≥500μm |
R軸移動行程 | 120° ±60°（需手動旋轉探針桿） |
R軸控制精度 | ≥500μm |
Z軸移動行程 | 2mm ±1mm |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動螺紋調節探針桿） |
