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超聲波掃描顯微鏡SAT又稱為SAM。其特點在于能夠精確的反應出聲波和微小樣品的彈性介質之間的相互作用，并對從樣品內部反饋回來的信息進行分析。主要用于研究、半導體、電子元件、陶瓷制品、樹脂、汽車零部件、金屬制品、MENS等領域。
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