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  • 哈爾濱芯明天科技有限公司

    新品推薦!XD770.300S大負載壓電納米定位臺

    時間:2023-6-9 閱讀:970
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    壓電納米定位臺在精密定位領域中發揮著至關重要的作用,可集成于各類高精密裝備,為其提供納米級運動控制,且應用非常廣泛,例如顯微掃描、光路調整、納米操控技術、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。隨著科技不斷進步,精密定位技術對于定位系統的行程、負載、精度要求也不斷攀升,哈爾濱芯明天科技有限公司持續加強技術實力和研發能力,不斷攻克技術壁壘,提升產品性能,以滿足對大行程、大負載、高精度的應用要求。

    此次為大家介紹的是一款具有大行程、大負載特點的一維壓電納米定位臺,型號為XD770.300S,尺寸為(130×100×33)mm^3,實物外觀如下圖所示。


    圖片



    Z向運動,大負載、大行程


    XD770.300S壓電納米定位臺為Z軸方向的運動平臺,行程可達300μm,負載可達5kg,實現行程范圍和負載能力的雙提升,為同時有大行程、大負載應用需求提供了優質的解決方案。配合芯明天壓電控制器,分辨率高、響應速度快。


    圖片

    配置閉環傳感,更高精度


    XD770.300S壓電納米定位臺內部配置有閉環傳感器,反饋可體現精確位置的電信號,可對壓電納米定位臺的運動位置進行實時調整,提供更高的精度。經過實測,它的線性度可達0.08%F.S.,重復定位精度可達0.02%F.S.。

    線性度
    正向線性度(%F.S.)
    0.056%
    反向線性度(%F.S.)
    0.073%
    雙向線性度(%F.S.)
    0.073%
    重復度
    正向重復度(%F.S.)
    0.011%
    反向重復度(%F.S.)
    0.009%
    雙向重復度(%F.S.)
    0.017%



    緊湊尺寸,多孔安裝


    XD770.300S壓電納米定位臺在具有大承載的情況下,體積并未有過大的增加,反而很緊湊。在它的移動上表面,具有16個負載安裝孔,非常便于負載的安裝。


    圖片

    技術參數


    型號
    XD770.300S
    運動自由度
    Z
    驅動控制
    1路驅動、1路傳感
    標稱行程范圍(0~120V)
    240μm
    行程范圍(0~150V)
    300μm
    傳感器
    SGS
    閉環分辨率
    10nm
    線性度
    0.08%F.S.
    重復定位精度
    0.02%F.S.
    俯仰/偏航/滾動
    <15μrad
    空載諧振頻率
    380Hz
    帶載5kg諧振頻率
    110Hz
    閉/開環空載階躍時間
    300/10ms
    承載能力
    5kg
    靜電容量
    43.2μF
    工作溫度
    -20~80℃
    材質
    鋼、鋁
    重量
    2kg



    薦控制器


    XD770.300S壓電納米定位臺可使用芯明天E53.D系列壓電控制器驅動,它是單通道壓電控制器,可通過模擬輸入控制或上位機軟件控制。具有體積小、易集成等特點。

    圖片



    更多詳情歡迎致電芯明天!

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