P63系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電定位臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺具有的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，壓電平臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。

特性

•  1~3維自由組合

•  位移行程8μm

•  zui大承載0.8kg

•  重復(fù)定位精度可達(dá)納米級

•  亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

1-3維平移臺

P63系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、XYZ多種運(yùn)動(dòng)方式可選。超小體積易于集成配套。

典型應(yīng)用

•  顯微成像                     •  納米定位

•  生物技術(shù)                     •  半導(dǎo)體技術(shù)

•  質(zhì)量保證測試              •  微車削

•  原子力顯微鏡

小體積、高精度、響應(yīng)速度快

P63系列壓電納米定位臺zui重要的特點(diǎn)是超級精密且體積非常小巧，尺寸僅為30×30×42mm（X軸尺寸為30×30×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。

P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，具有超低慣性，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

頻率負(fù)載曲線

應(yīng)用實(shí)例

P63三維納米定位臺已經(jīng)應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺切削力測試實(shí)驗(yàn)中。 

P63.XYZ技術(shù)參數(shù)

壓電納米定位臺的應(yīng)用舉例

光纖端面檢測

光纖連接處出現(xiàn)問題是網(wǎng)絡(luò)故障的主要原因，因此光纖端面的檢測至關(guān)重要。

壓電納米定位臺帶動(dòng)鏡片做精密運(yùn)動(dòng)，配合顯微鏡完成對光纖端面質(zhì)量的干涉檢測。

光纖對接

將光纖固定在壓電納米定位臺上，通過壓電納米定位臺的精密移動(dòng)對光纖端面進(jìn)行三維位置調(diào)整，從而實(shí)現(xiàn)光纖的精密對接。

硬盤測試

快速、準(zhǔn)確的讀取計(jì)算機(jī)硬盤磁道的寬度對于提高硬盤存儲(chǔ)信號密度和讀取時(shí)間非常重要，壓電納米定位臺納米級定位精度為高精度磁盤磁道定位提供了解決方案。

電化學(xué)加工

在電化學(xué)腐蝕加工中，通過微動(dòng)平臺Z向微小移動(dòng)，帶動(dòng)懸臂梁懸掛加工件上下移動(dòng)，完成與電解液的接觸，從而實(shí)現(xiàn)腐蝕加工。

3D錫膏檢測

錫膏測厚儀是一種利用光柵投影技術(shù)，將印刷在PCB板上的錫膏（紅膠）厚度、面積、體積等分布測量出來的設(shè)備。為了收集和高度有關(guān)的信息，在拍攝的圖像上采用二維壓電納米定位臺帶動(dòng)光柵移動(dòng)4次，移動(dòng)一次拍攝一組圖像，zui終合成一組圖像顯示出測試結(jié)果。