哈爾濱芯明天科技有限公司專注于壓電納米定位技術(shù)近二十載，已發(fā)布眾多的壓電式直線及角度超精密定位產(chǎn)品，并不斷進(jìn)行技術(shù)改進(jìn)，目前直線定位產(chǎn)品定位精度可達(dá)亞納米級(jí)，角度定位產(chǎn)品的定位精度可達(dá)納弧度級(jí)，重復(fù)度可達(dá)0.02%F.S.。

?哈爾濱芯明天科技有限公司作為中國(guó)的一個(gè)生產(chǎn)制造企業(yè)，正在并將持續(xù)不斷改進(jìn)我們的技術(shù)，提高產(chǎn)品的精度及質(zhì)量，助力于中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展！

芯明天壓電定位產(chǎn)品之壓電物鏡定位器

壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計(jì)的，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，物鏡補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測(cè)/測(cè)量或者觀測(cè)裝置可以帶動(dòng)鏡片進(jìn)行聚焦，顯著提高定位精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

利用芯明天壓電物鏡定位器進(jìn)行激光加工

?芯明天壓電物鏡定位器具有Z向納米級(jí)定位精度，它的主要應(yīng)用之一就是激光加工，例如晶圓切割。物鏡將激光束進(jìn)行聚焦，通過壓電物鏡定位器調(diào)整激光束加工點(diǎn)的位置，調(diào)整精度為納米級(jí)，且速度可達(dá)亞毫秒。

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激光加工之晶圓切割

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激光經(jīng)過透鏡聚焦，再利用芯明天壓電物鏡定位器調(diào)整焦點(diǎn)的位置，使焦點(diǎn)準(zhǔn)確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，在切割材料上形成連續(xù)切割點(diǎn)從而達(dá)到切割的目的。

?芯明天壓電物鏡定位器部分參數(shù)：

安裝結(jié)構(gòu)

為了更方便的更換物鏡，安裝座分別通過獨(dú)立的轉(zhuǎn)接件與顯微鏡和物鏡進(jìn)行連接。壓電物鏡定位器通過螺紋適配器安裝于顯微鏡與物鏡間。轉(zhuǎn)接件可選M38×0.75、M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，同時(shí)芯明天也接受定制螺紋適配器。