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  • 哈爾濱芯明天科技有限公司

    Z向運動大承載壓電掃描臺 - P70.Z200系列

    時間:2023-12-7 閱讀:1425
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    P70.Z200系列壓電掃描臺是一款兼具小體積、大行程、大負(fù)載特點的Z向運動一維壓電掃描臺。它采用機構(gòu)放大原理,無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動,具有中心通孔設(shè)計,可帶動物鏡或樣品實現(xiàn)納米級精度的Z向升降運動,行程可達(dá)到200μm,承載可達(dá)500g。其內(nèi)置傳感器通過全橋方式連接,無漂移,可以實現(xiàn)在納米范圍內(nèi)精確定位,閉環(huán)分辨率6nm,重復(fù)定位精度達(dá)0.02%F.S.。產(chǎn)品在顯微成像、光學(xué)檢測、生物科技、圖像處理等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

    小體積中心通孔設(shè)計



    P70.Z200系列壓電掃描臺體積非常小巧,且具有φ10mm的中心通孔設(shè)計,尺寸如下圖所示。

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    負(fù)載安裝便捷



    P70.Z200系列壓電掃描臺在中心部位配置負(fù)載螺紋孔,便于物鏡或樣品等負(fù)載的安裝,最大承載可達(dá)500g。標(biāo)準(zhǔn)負(fù)載適配螺紋W0.8×1/36",可根據(jù)用戶不同需求定制螺紋尺寸。

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    閉環(huán)快速階躍



    P70.Z200系列壓電掃描臺閉環(huán)空載階躍時間為20ms,當(dāng)帶載200g階躍時間可達(dá)30ms,響應(yīng)速度快。

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    典型應(yīng)用舉例



    01

    應(yīng)用于籠式結(jié)構(gòu)

    芯明天研發(fā)生產(chǎn)的P70.Z200系列壓電掃描臺結(jié)構(gòu)中配備了籠式結(jié)構(gòu)安裝通孔,可直接集成到籠式結(jié)構(gòu)中。它可用于帶載物鏡,進(jìn)行Z向直線運動的納米級調(diào)整,精確的調(diào)整經(jīng)物鏡聚焦后的焦點與樣品間的距離。

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    02

    顯微成像

    對于高分辨率顯微成像技術(shù)而言,壓電掃描臺是其中不可少的一部分,它可以帶載物鏡或樣品做Z向的聚焦或樣品位置的調(diào)節(jié),大幅提高成像的清晰度,其精度可達(dá)納米級別。且壓電掃描臺由電信號控制,聚焦速度快,響應(yīng)速度可達(dá)亞毫秒或毫秒量級。

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    03

    生物科技

    隨著生物醫(yī)療技術(shù)的快速發(fā)展,精密定位技術(shù)也在其領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用。如染色體的切割、細(xì)胞分離、細(xì)胞融合、納升配藥、微流體等,其中定位部分可應(yīng)用壓電定位掃描臺,可利用其超高的分辨率及定位精度和抗干擾能力,進(jìn)行精確定位。

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    技術(shù)參數(shù)




    型號
    P70.Z200
    運動自由度
    Z
    驅(qū)動控制
    1路驅(qū)動,1路傳感
    標(biāo)稱行程范圍(0~120V)
    136μm
    行程范圍(-20~150V)
    200μm
    傳感器類型
    SGS
    閉/開環(huán)分辨率
    6nm/2nm
    閉環(huán)線性度
    0.05%F.S.
    閉環(huán)重復(fù)定位精度
    0.02%F.S.
    空載諧振頻率
    500Hz
    帶載諧振頻率@200g
    250Hz
    閉/開環(huán)空載階躍時間
    20ms
    承載能力
    500g
    靜電容量
    7.2μF
    材質(zhì)
    鋼、鋁
    重量
    240g(包含6芯連接線)



    配套控制器



    E53.D1S壓電控制器非常適用于驅(qū)動P70.Z200系列壓電掃描臺,它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的單通道壓電陶瓷控制器。該控制器采用專用運放電路保證了高壓大電流的輸出能力,通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性,可靠的抗干擾設(shè)計保證了控制器的高頻率響應(yīng)速度。
    圖片
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