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壓電物鏡掃描器的精度有多高？
壓電物鏡掃描器是徑向極化壓電材料的薄圓管體，具有四個外部電極和連續(xù)的內(nèi)部電極。當電壓施加到外部電極之一時，相應區(qū)域的致動器管壁膨脹，這引起管尖的垂直收縮和大的橫向偏轉(zhuǎn)。圓周電極可用于垂直或徑向伸展和收縮。壓電管掃描器廣泛用于掃描探針顯微鏡、光纖拉伸和光束掃描等應用。可根據(jù)要求提供定制尺寸、規(guī)格。
壓電物鏡掃描器的命名實際由它的驅(qū)動原理及其應用目的相結(jié)合而來的。“壓電”指的是它的驅(qū)動原理，即利用PZT壓電陶瓷來作為驅(qū)動源從而產(chǎn)生運動；而“物鏡定位器”則是它的應用目的，即用來帶載物鏡頭調(diào)節(jié)運動。但通常情況下，壓電物鏡定位器本身是不包含有鏡頭的，它可以根據(jù)實際使用要求帶載不同類型的物鏡頭。
壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計，物鏡補償量較小，具有聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測、測量或者觀測裝置，帶動物鏡聚焦進行Z向運動調(diào)節(jié)，能與多種高分辨率的顯微鏡配合使用，可將物鏡的聚焦精度提高至納米級。
在驅(qū)動內(nèi)部電極配置中，X和Y電極以標準方式相等且相反極性的電壓驅(qū)動。通過向內(nèi)部電極施加滿量程負電壓，獲得等于垂直掃描范圍的一半的收縮。該方法利用壓電材料更高的正電場強度，其通常是負電場強度的五倍。要注意不要對內(nèi)部電極施加正電壓，因為這會導致去極化。
壓電陶瓷管配有鎳薄膜電極。內(nèi)部電極是連續(xù)的，外部電極是四分區(qū)的。通過用稀硝酸蝕刻可以去除表面電極。可根據(jù)要求提供定制電極配置。在需要高磁場的應用中，鎳電極可以用銅或金代替。銅是一種經(jīng)濟的選擇，但金電極有不錯的耐腐蝕性和導電性。
