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    XYZ三維運(yùn)動(dòng)、電容閉環(huán)、無(wú)磁壓電納米定位臺(tái)與控制器!

    時(shí)間:2023-4-6 閱讀:1544
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    介紹一XYZ三維運(yùn)動(dòng)、電容傳感器閉環(huán)的壓電納米定位臺(tái)及相應(yīng)控制器,該電容運(yùn)動(dòng)臺(tái)的型號(hào)為P12.XYZ100C,控制器型號(hào)為E00.D11AL。


    01

    P12.XYZ100C壓電納米定位臺(tái)


    P12.XYZ100C壓電納米定位臺(tái)的三維運(yùn)動(dòng)是采用串聯(lián)形式,在設(shè)計(jì)過(guò)程中,將體積盡可能的縮小,它的體積僅80×80×45mm^3。中心具有φ40mm圓形通孔,適用于光的透射或結(jié)構(gòu)的集成、放置。


    圖片

    電容式傳感器閉環(huán)

    P12.XYZ100C壓電納米定位臺(tái)采用電容式傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,內(nèi)部具有3個(gè)電容傳感器,分別對(duì)X、Y、Z三軸進(jìn)行位移的實(shí)時(shí)測(cè)量及反饋。
    電容式傳感器是一種非接觸式測(cè)量,電容測(cè)頭與被測(cè)面間的距離變化,即壓電納米定位臺(tái)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng),改變與電容測(cè)頭間的距離,引起電容傳感器輸出的電壓值發(fā)生變化,電壓值與納米定位臺(tái)的位移相對(duì)應(yīng)。
    非接觸式測(cè)量使得傳感器與運(yùn)動(dòng)面間無(wú)接觸,不會(huì)對(duì)位移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生額外影響,可保證非常好的精度及長(zhǎng)期的穩(wěn)定性,且響應(yīng)速度非??臁?/span>


    圖片

    無(wú)磁

    P12.XYZ100C壓電納米定位臺(tái)的另一個(gè)重要的特性是無(wú)磁,它采用無(wú)磁材料、無(wú)磁加工工藝,保證產(chǎn)品本身不會(huì)為所應(yīng)用的系統(tǒng)環(huán)境帶來(lái)額外的磁場(chǎng),非常適用于要求無(wú)磁環(huán)境的應(yīng)用。
    圖片

    產(chǎn)品實(shí)測(cè)曲線

    1)階躍上升曲線
    經(jīng)過(guò)實(shí)測(cè),P12.XYZ100C壓電納米定位臺(tái)的階躍上升時(shí)間約為100ms以內(nèi)。

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    2)位移電壓曲線
    P12.XYZ100C壓電納米定位臺(tái)的電壓與位移曲線如下圖所示。在閉環(huán)情況下,驅(qū)動(dòng)控制電壓與其產(chǎn)生的位移成線性關(guān)系。在130V的驅(qū)動(dòng)電壓下,位移可達(dá)90μm。

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    3)重復(fù)定位精度曲線
    在不同的百分比行程下,重復(fù)定位精度會(huì)有區(qū)別,這與使用的壓電陶瓷的特性、柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)等都有關(guān)系。經(jīng)實(shí)測(cè),P12.XYZ100C壓電納米定位臺(tái)的重復(fù)定位精度在整個(gè)位移范圍內(nèi),可保持優(yōu)于0.027%,在10%的行程下,重復(fù)定位精度可優(yōu)于0.014%F.S.。
    圖片

    應(yīng)用

    P12.XYZ100C壓電納米定位臺(tái)的高分辨率、高精度以及無(wú)磁材料的選用,使其非常適用于超分辨率顯微鏡、篩選、共聚焦顯微鏡、生物技術(shù)等。

    技術(shù)參數(shù)

    P12.XYZ100C壓電納米定位臺(tái)的基本參數(shù)如下。
    型號(hào)
    P12.XYZ100C
    運(yùn)動(dòng)自由度
    X、Y、Z
    傳感器類(lèi)型
    CAP電容式
    行程范圍(0~120V)
    90μm/軸
    分辨率
    7nm
    重復(fù)定位精度
    優(yōu)于0.027%F.S.
    俯仰/偏航/滾動(dòng)
    ≦35μrad
    帶載階躍時(shí)間
    100ms
    空載諧振頻率
    X:170Hz,Y:245Hz,Z:170Hz
    帶載500g諧振頻率
    X:69Hz,Y:93Hz,Z:85Hz
    靜電容量
    3.6μF
    承載能力
    500g


    注:以上參數(shù)是采用E00.D11AL壓電控制器進(jìn)行測(cè)得。

    02

    E00.D11AL壓電控制器


    圖片

    P12.XYZ100C壓電納米定位臺(tái)是采用E00.D11AL壓電控制器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制。
    E00.D11AL壓電控制器是一臺(tái)三通道輸出、電容閉環(huán)的壓電控制器,它可通過(guò)模擬信號(hào)或數(shù)字信號(hào)進(jìn)行控制。它具有液晶鍵盤(pán)控制模塊,也可通過(guò)RS-232、RS-422、USB等接口與上位機(jī)通信,進(jìn)行軟件控制。

    面板介紹

    圖片

    技術(shù)參數(shù)

    E00.D11AL壓電控制器的基本技術(shù)參數(shù)如下,它是針對(duì)電容式閉環(huán)的壓電納米定位臺(tái)而設(shè)計(jì),不僅可驅(qū)動(dòng)P12.XYZ100C壓電納米定位臺(tái),還可與其他電容閉環(huán)壓電納米定位臺(tái)兼容。
    型號(hào)
    E00.D11AL
    通道數(shù)
    3
    模塊輸入范圍
    0~10V(可選0~5V等)
    輸出電壓范圍
    -20~150V(可選120V等)
    峰值電流
    1A
    平均電流
    291mA
    放大器帶寬
    10kHz
    紋波
    10mVpp(加載2.2μF)
    PZT連接器
    ERA.00.250.CTL
    控制輸入連接器
    BNC
    傳感
    傳感器類(lèi)型
    CAP
    伺服特性
    模擬P-I+陷波濾波
    傳感輸入接口
    G10S0C-FT1LJG0-000L
    傳感輸出連接器
    ERA.0S.303.CLL
    傳感器輸出電壓
    0~10V
    主控
    通信接口
    RS-232/422、USB
    D/A轉(zhuǎn)換器
    16Bit
    A/D轉(zhuǎn)換器
    16Bit
    其他
    工作溫度范圍
    10~50°C
    電流限制
    短路保護(hù)
    尺寸
    長(zhǎng)536×高175×深375mm
    重量
    約12kg
    供電電壓
    AC220V,50Hz


    更多關(guān)于電容式壓電納米定位臺(tái)及相關(guān)控制器的需求,歡迎您聯(lián)系我們!

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