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  • 哈爾濱芯明天科技有限公司

    真空三維壓電納米定位臺(tái)

    時(shí)間:2021-7-16 閱讀:1586
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    P12B.XYZ100壓電掃描臺(tái)為3維并聯(lián)式平移掃描臺(tái),臺(tái)體中心通孔,內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu)化結(jié)構(gòu),具有高導(dǎo)向精度、高剛性、大負(fù)載、無磨損等特點(diǎn)

     

    平臺(tái)內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋,實(shí)現(xiàn)0.05%F.S.重復(fù)定位精度P12B.XYZ100壓電掃描臺(tái)掃描范圍可達(dá)100μm/軸,閉環(huán)掃描精度高,直線運(yùn)動(dòng)無偏航。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于表面測(cè)量、顯微成像等應(yīng)用領(lǐng)域,同時(shí)適用于真空應(yīng)用,滿足客戶真空應(yīng)用需求。

    特點(diǎn)

    · 三維XYZ向運(yùn)動(dòng)                     

    · 行程100μm/軸                     

    · 中心通孔Ø10mm                     

    · 適用于真空應(yīng)用                     

    應(yīng)用領(lǐng)域

    · 掃描顯微/表面測(cè)量                    

    · 共焦顯微/半導(dǎo)體測(cè)試                  

    · 晶圓定位/圖像處理與穩(wěn)定

    · 光纖定位/光學(xué)掃描

    電壓位移曲線

    技術(shù)參數(shù)

    型號(hào):P12B.XYZ100

    運(yùn)動(dòng)自由度XYZ

    行程范圍(0~150V)100μm/軸

    傳感器類型SGS

    中心通孔Ø10mm

    外徑Ø49mm

    靜電容量3.6μF/軸

    承載能力0.2kg

    工作溫度范圍-20~80℃

    材質(zhì)鋼、鋁

    外形尺寸(高)38.5mm

    出線長(zhǎng)1.5m

    傳感/電壓連接器LEMO

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