P60系列Z向大行程直線微運動平臺

P60.Z500是以壓電陶瓷為驅(qū)動源，并采用放大機構(gòu)的一維Z向運動的大行程直線微運動平臺，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，可達毫秒級響應(yīng)、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等，已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。

P60.Z500系列壓電掃描臺，采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，可實現(xiàn)500μm的運動行程，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)可承載2kg的負載，空載諧振頻率達290Hz。

帶載階躍時間

P60.Z500S 帶載350g時，階躍時間200ms。

技術(shù)參數(shù)

型號：P60.Z500

運動自由度：Z

行程范圍（0~120V）：400μm

行程范圍（0~150V）：500μm

閉環(huán)傳感器：SGS

閉/開環(huán)分辨率：20/5nm

閉環(huán)線性度:0.1%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.05%F.S.

空載諧振頻率：290Hz

承載能力：2kg

靜電容量：28.8μF

材質(zhì)：鋼、鋁

重量（不含線）：0.65kg