超精密加工是實現(xiàn)納米加工的有效方式，其中壓電快速刀具伺服系統(tǒng)是超精密加工中的核心器件，快速刀具定位臺帶動車刀或其他刀具微納米級進給，在工件表面進行加工。此外也可加工各種回轉表面，如內圓柱面、內外圓錐面、螺紋、溝槽、端面和成型面等。

FTS20 系列快速刀具定位臺是專為超精密車削而設計的快速刀具微進給平臺，它采用直驅式驅動結構，承載力大、頻率高，且采用電容式閉環(huán)傳感器，具有納米級定位精度。

特點

•行程范圍18μm

•滿行程下，使用頻率可達95Hz

•負載能力300g

高剛度

快速刀具定位臺采用大出力壓電陶瓷，同時臺體材料采用不銹鋼材質以確保加工過程中的穩(wěn)定性，結構穩(wěn)定可靠，加工精度不會因顫動而受影響。

技術參數(shù)型號：FTS20

行程：18μm@95Hz

9μm@190Hz

1μm@600Hz

傳感器：SGS

線性度：0.1%F.S.

重復定位精度：15nm

負載：300g

剛度：120N/μm

空載諧振頻率：4000Hz

驅動電壓范圍：0~150V

外形尺寸：L110×W95×H42mm

重量：2100g

工作溫度：-20~80℃

出線長：1.5m