現(xiàn)如今，半導(dǎo)體器件、印刷電路板等電子器件在很多領(lǐng)域都得到廣泛應(yīng)用，這些電子器件的性能直接影響整個(gè)系統(tǒng)的性能，它們的可靠性起到了很重要的作用。隨著電路板上元器件密度的日益增大，器件間的連接點(diǎn)只有微米級(jí)，常規(guī)的檢測(cè)手段受到了極大的限制，因?yàn)樾枰雀叩臏y(cè)試方法。

光學(xué)微掃描顯微成像系統(tǒng)以其檢測(cè)速度快、精度高等特點(diǎn)受到廣泛關(guān)注。其原理是在系統(tǒng)中加入高精度壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，使顯微熱圖像在四個(gè)依次相差90°的傾斜角條件下采集采樣圖像，形成微掃描模式，顯微成像處理系統(tǒng)通過(guò)與獲取微掃描圖像相同的方式交叉融合形成采樣圖像。

其中高精度壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái)以其旋轉(zhuǎn)角度大、精度高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，成為該系統(tǒng)中的核心器件。

芯明天P21為一維θz 壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)，產(chǎn)品體積小巧，大旋轉(zhuǎn)角度7.5mrad，承載能力達(dá)0.1kg，可帶動(dòng)鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

P21一維旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，臺(tái)體采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，無(wú)摩擦、無(wú)回差，可以實(shí)現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實(shí)現(xiàn)微弧度的定位精度，在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P21.R7

運(yùn)動(dòng)自由度：θz

旋轉(zhuǎn)角度(0~120V)：6mrad（≈1240”）

旋轉(zhuǎn)角度(0~150V)：7.5mrad（≈1500”）

閉環(huán)傳感器：SGS

閉/ 開(kāi)環(huán)分辨率：0.4/0.2μrad

閉環(huán)線性度：0.5%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.2%F.S.

推/拉力：10/5N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：1 N/μm

空載諧振頻率：1.1kHz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：30/1.5ms

承載能力：0.1kg

靜電容量：1.8μF

材質(zhì)：鋁

重量：105g