封裝式壓電陶瓷促動器內部集成高可靠性壓電陶瓷，可實現納米級分辨率，位移行程可達260微米，微秒級響應時間，外部由柱形不銹鋼外殼保護。

較高的內部機械預載力可適用于高負載、高動態應用。出力達50000N，使其非常適于腔調諧、主動振動、減震抑震或自適應力學。同時，小體積、高諧振頻率等特點又使其非常適于掃描顯微、光束偏轉、精密加工或顯微光刻等應用。

封裝式壓電陶瓷促動器

· 位移可達260微米

· 出力可達50000N

· 納米級分辨率

· 多種轉接及固定方式可選

· 多種尺寸及參數可選

· 可定制

應用領域

超導腔調諧

通過諧振器在軸向拉伸超導腔，改變加速間隙的大小，控制超導腔的頻率。通過機械調諧進行頻率的粗調后，當超導腔的頻率接近所需要的頻率時，通過壓電陶瓷促動器對頻率進行微調。利用的是壓電陶瓷促動器的大出力、微位移的特性。

微細電火花加工

采用微細電火花加工微小孔過程中會產生很多碎屑，這會嚴重影響電火花加工的精準度及加工速度。設備中采用壓電促動器，利用其微納米級位移，高頻振動，大出力等特性將加工產生的碎屑進行有效的清除，起到優異的導屑作用。

減震抑震

震動是很多機械系統中需要避免或消除的，如航空航天、汽車行業等。在震動監測系統中監測到震動時，通過給壓電促

動器施加電信號，使壓電促動器隨之產生與震動方向相反的位移，從而抵消震動。