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  • 哈爾濱芯明天科技有限公司

    芯明天P17系列壓電掃描臺

    時間:2020-1-6 閱讀:4304
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    P17 系列

    P17 系列壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計的二維掃描臺。臺體采用機構(gòu)放大設(shè)計原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實現(xiàn)XY 軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

     

    特點

    • 位移187.5μm

    • 承載能力1kg

    • 通孔尺寸:60×60mm

    • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

    • 響應(yīng)速度快

    應(yīng)用

     

    • 圖像處理與穩(wěn)定/掃描顯微

    • 干涉/ 計量

    • 表面檢測

    • 晶圓定位/微操作

    階躍時間

     

     

     

    大行程 穩(wěn)定性好 響應(yīng)速度快

     

    P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動快速、高精度掃描臺,可以實現(xiàn)XY軸187.5×187.5μm 的位移行程,優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計無摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、響應(yīng)時間可達5毫秒。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01 系列閉環(huán)控制器配套使用,具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心60×60mm 大通孔,適合工業(yè)自動化中的晶圓定位或微操作等應(yīng)用。

    應(yīng)用實例

     

    P17 系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應(yīng)用,該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測試、表面結(jié)構(gòu)分析、顯微成像等領(lǐng)域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY 軸187.5μm 行程范圍的納米級精密定位。

    技術(shù)參數(shù)

     

    型號

    S-閉環(huán)

    K-開環(huán)

    P17.XY200S

    P17.XY200K

    單位

    運動自由度

    X、Y

     

    行程范圍(0~120V)

    150/軸

    μm

    行程范圍(0~150V)

    187.5/軸

    μm

    傳感器類型

    SGS/-

     

    通孔尺寸

    60×60

    mm

    閉/開環(huán)分辨率

    8/5

    nm

    閉環(huán)線性度

    0.1/-

    %F.S

    閉環(huán)重復(fù)定位精度

    0.05/-

    %F.S

    俯仰/偏航/滾動

    <15

    μrad

    推/拉力

    40/15

    N

    運動方向剛度

    X0.2/Y0.2

    N/μm

    空載諧振頻率

    X240/Y400

    Hz

    閉/開環(huán)空載階躍時間

    30/5

    ms

    閉環(huán)空載

    工作頻率

    10%行程

    50

    Hz

    行程

    10

    承載能力

    1

    kg

    靜電容量

    3.6/軸

    μF

    材質(zhì)

    鋼、鋁

     

    重量

    660

    g

    是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計的二維掃描臺。臺體采用機構(gòu)放大設(shè)計原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實現(xiàn)XY 軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

    特點

    • 位移187.5μm

    • 承載能力1kg

    • 通孔尺寸:60×60mm

    • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

    • 響應(yīng)速度快

    應(yīng)用

    • 圖像處理與穩(wěn)定/掃描顯微

    • 干涉/ 計量

    • 表面檢測

    • 晶圓定位/微操作

    階躍時間

    大行程 穩(wěn)定性好 響應(yīng)速度快

    P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動快速、高精度掃描臺,可以實現(xiàn)XY軸187.5×187.5μm 的位移行程,優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計無摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、響應(yīng)時間可達5毫秒。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01 系列閉環(huán)控制器配套使用,具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心60×60mm 大通孔,適合工業(yè)自動化中的晶圓定位或微操作等應(yīng)用。

    應(yīng)用實例

    P17 系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應(yīng)用,該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測試、表面結(jié)構(gòu)分析、顯微成像等領(lǐng)域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY 軸187.5μm 行程范圍的納米級精密定位。

    技術(shù)參數(shù)

     

    型號

    S-閉環(huán)

    K-開環(huán)

    P17.XY200S

    P17.XY200K

    單位

    運動自由度

    X、Y

     

    行程范圍(0~120V)

    150/軸

    μm

    行程范圍(0~150V)

    187.5/軸

    μm

    傳感器類型

    SGS/-

     

    通孔尺寸

    60×60

    mm

    閉/開環(huán)分辨率

    8/5

    nm

    閉環(huán)線性度

    0.1/-

    %F.S

    閉環(huán)重復(fù)定位精度

    0.05/-

    %F.S

    俯仰/偏航/滾動

    <15

    μrad

    推/拉力

    40/15

    N

    運動方向剛度

    X0.2/Y0.2

    N/μm

    空載諧振頻率

    X240/Y400

    Hz

    閉/開環(huán)空載階躍時間

    30/5

    ms

    閉環(huán)空載

    工作頻率

    10%行程

    50

    Hz

    行程

    10

    承載能力

    1

    kg

    靜電容量

    3.6/軸

    μF

    材質(zhì)

    鋼、鋁

     

    重量

    660

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