P77.D6壓電式移相器是專為光學(xué)檢測移相應(yīng)用而設(shè)計的，中心通孔直徑為65mm，正立、側(cè)臥、倒置使用的承載能力分別可達5kg、2kg、3kg。采用壓電陶瓷直驅(qū)式結(jié)構(gòu)，保證了出力性能，同時內(nèi)部優(yōu)化的機械結(jié)構(gòu)設(shè)計，對壓電陶瓷也起到了的保護作用，確保了使用壽命。

產(chǎn)品特點

• 一維Z向運動

• 行程可達17μm

• 承載可達5kg

• 通孔直徑：65mm

• 可正立/倒置/側(cè)臥使用

典型應(yīng)用

• 顯微成像

• 表面檢測

• 干涉/測量

• 精密定位

• 移相器

• 光學(xué)捕獲

高精度、大承載

P77.D6系列壓電移相器采用優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)設(shè)計，利用有限元分析優(yōu)化，使其具有超高分辨率。同時閉環(huán)版本內(nèi)置高精度傳感器，對位移實時監(jiān)測反饋，實現(xiàn)納米級的重復(fù)定位精度及線性度。

中心通孔直徑65mm，非常適于大口徑移相干涉應(yīng)用。

電壓與位移曲線

技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用案例

芯明天P77系列壓電移相器以其大通孔、納米級分辨率、高精度等特點廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代干涉儀中，大大提高了干涉儀的測量精度。