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    P77系列壓電式移相器
    
			
    
				時間：2019-3-18
				閱讀：1294
				
    
							
				
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    P77.D4 壓電式移相器為大口徑移相器，中心通孔孔徑分別為160mm，特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計，與光學平面檢測儀相匹配。
     
    特點
    · 一維 Z 向運動
    · 分辨率可達0.5nm
    · 通孔尺寸為Ø160mm
    · 行程范圍20μm
    · 大承載10kg
    承載能力
    P77.D4 的承載能力高達10kg。
     
    多點位移測量
    出廠前，對多個點進行位移測量，保證運動的直線度。
     
    步進曲線
     
    開環(huán)曲線
     
    技術(shù)參數(shù)
     
    以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測得
    
				
    
				
		
    
	
    

    


        
        




    

    

    

	 
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 



		 


    
	
    
		
    
			
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