伊特克斯惰性氣體系統（北京）有限公司
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<ul id="qqie6"></ul> 伊特克斯惰性氣體系統（北京）有限公司
| 產地 | 國產 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 適用領域 | 化工 |
半導體應用手套箱配備四路配氣系統，流量計精準控制;每個箱體配備一個GE露點儀Moisture Target'm Series 6與VeriDri探頭，精準檢測水分情況。主箱體配置EC913SYSTECH(稀仕代);配置兩套真空獨立烘箱，烘箱為七層設計，各層之間獨立精準控溫，溫度土1℃℃;內外門互鎖裝置，結構嚴謹精密。
半導體應用手套箱：Lab2000系統包括一臺密閉箱體、一套（大、小）過渡艙，一臺旋片式真空泵和一套集成有微控制器操作面板的循環凈化系統。標準的Lab2000系統配備的惰性氣體凈化系統安裝一套凈化柱（全自動可再生）凈化、維護手套箱箱體內的氣氛。半導體應用手套箱采用不銹鋼箱體設計，鋼化玻璃或聚碳酸酯前窗（可供選擇）；指標：水、氧≤1ppm；泄漏率：≤0.05vol%/h；電磁閥采用模塊化設計，泄漏率降低，更換方便；帶滑動托盤的大過渡艙，過渡艙門設計新穎，輕巧、開啟方便；GP-20惰性氣體的凈化系統；SIEMENS微控制器；SIEMENS操作觸摸屏幕，易于進入各功能；數據備忘錄：自動記錄系統數據；手套箱內的惰性氣體經循環風機和凈化器密閉循環，不斷地吸收氧和水；除水氧材料可以再生，再生過程由程序自動控制。封閉式氣體循環，無油和真空；腳踏代替手動調節壓力控制；全不銹鋼氣體流量管道及配件；EDWARDS RV12真空泵；HEPA高效率濾器；自動壓力控制，工作氣壓可設定在±12mbar范圍。封閉式氣體循環，無油和真空；腳踏代替手動調節壓力控制；全不銹鋼氣體流量管道及配件；EDWARDS RV12真空泵；HEPA高效率濾器；自動壓力控制，工作氣壓可設定在±12mbar范圍。
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