伊特克斯惰性氣體系統（北京）有限公司
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<ul id="qqie6"></ul> 伊特克斯惰性氣體系統（北京）有限公司
閱讀：485發布時間：2025-1-6
一、壓力衰減測試
原理：
這是一種常用的檢測方法。通過向手套箱內充入一定壓力的氣體（一般是惰性氣體，如氮氣），然后關閉進氣口，觀察一段時間內壓力的變化情況。如果手套箱密封良好，壓力下降的幅度應該在允許的范圍內；如果存在泄漏，壓力會明顯下降。
操作步驟：
首先將手套箱內的壓力升高到一個設定值，例如比外界大氣壓高 10 - 20kPa。使用高精度的壓力傳感器記錄初始壓力值，然后關閉所有與外界相通的閥門，包括進氣閥、排氣閥等。在一段時間內（通常是數小時甚至更長時間，具體根據實際情況和要求而定），持續監測壓力變化。如果在規定時間內，壓力下降不超過一定數值（如每小時下降不超過 0.1 - 0.2kPa），則可以認為密封性能基本達標。
二、氦質譜檢漏
原理：
氦氣是一種小分子、高擴散性的氣體，且在空氣中含量極低。利用氦質譜檢漏儀，將氦氣噴在手套箱可能泄漏的部位，如箱體的焊縫、接口、手套與箱體的連接處等。如果這些部位存在泄漏，氦氣會進入手套箱內部，氦質譜檢漏儀就能檢測到氦氣的信號，從而確定泄漏點及其泄漏率。
操作步驟：
首先將手套箱內抽成真空狀態，或者充入一定壓力的氣體。然后，使用氦氣噴槍將氦氣噴在懷疑有泄漏的地方。氦質譜檢漏儀與手套箱的內部空間相連，一旦檢測到氦氣，就會顯示出相應的信號強度和泄漏率。一般來說，對于半導體等對密封要求嚴格的行業，允許的氦氣泄漏率可能要低于1×10?? Pa?m3/s。
三、氣泡檢測法
原理：
將手套箱密封后，在可能泄漏的部位涂抹肥皂水等表面張力較低的液體。如果有泄漏，氣體從泄漏點逸出時會在液體中形成氣泡，通過觀察氣泡的產生情況可以判斷是否存在泄漏以及大致的泄漏位置。
操作步驟：
在手套箱的焊縫、接口、閥門等部位涂抹均勻的肥皂水。然后向手套箱內充入一定壓力的氣體（壓力不宜過高，以免損壞箱體），仔細觀察涂抹肥皂水的部位。如果看到有連續的氣泡產生，說明該部位存在泄漏，并且氣泡產生的速度和大小可以大致反映泄漏的嚴重程度。不過這種方法相對比較粗糙，對于微小泄漏可能不太敏感。
四、氧氣、水分含量檢測
原理：
在手套箱內建立一個相對穩定的無氧、無水的環境后，如果密封性能不好，外界的氧氣和水分會逐漸進入箱內，導致箱內氧氣和水分含量升高。通過檢測箱內氧氣和水分的含量變化，可以間接判斷密封性能。
操作步驟：
首先將手套箱內的氧氣和水分含量降低到一個較低的水平，例如氧氣含量低于 1ppm，水分露點低于 - 70℃。使用高精度的氧氣分析儀和露點儀持續監測箱內的氧氣和水分含量。如果在一段時間內（如數天），氧氣和水分含量上升幅度較小（如氧氣含量每天上升不超過 0.1ppm，水分露點上升不超過 1℃），則說明密封性能較好。
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