兩槽式提籃技術通過機械提籃裝置,將半導體芯片在高溫槽與低溫槽間垂直升降轉(zhuǎn)移。該技術結(jié)構(gòu)簡單,設備制造無需復雜的氣流控制與精密風道系統(tǒng),零部件少,采購成本比三箱式設備低約 30%。同時,其維護流程直觀,常規(guī)機械部件更換方便,進一步降低運維成本。但在潔凈度方面,機械提籃頻繁升降易產(chǎn)生金屬碎屑、潤滑油揮發(fā)等污染源,且樣品轉(zhuǎn)移過程中,外部環(huán)境空氣易進入槽內(nèi),引入顆粒污染物。據(jù)某晶圓廠實測,采用兩槽式提籃技術測試后,芯片表面顆粒物污染概率增加 15%,后續(xù)需投入額外人力、物力進行清潔處理,反而拉高了整體成本。
三箱式平移技術將測試區(qū)域獨立分隔,半導體芯片固定于測試區(qū),高溫區(qū)與低溫區(qū)氣流通過水平平移的氣動風門導入。此技術采用全封閉風道與潔凈氣流循環(huán)設計,配合高效過濾器,可維持 ISO 5 級潔凈環(huán)境,有效隔絕外界污染。在某芯片測試中,三箱式平移設備使芯片測試后污染率幾乎為零,極大提升測試可靠性。然而,該技術需精密的風門驅(qū)動系統(tǒng)、高精度溫度傳感器和復雜的控制系統(tǒng),設備采購成本顯著增加。同時,維護涉及專業(yè)電控與氣流系統(tǒng)檢修,單次故障維修成本可達兩槽式設備的 2 倍以上,對企業(yè)的資金與技術儲備要求較高。
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