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詳解探針臺由哪些部分組成？

閱讀：106發布時間：2024-9-9

詳解探針臺由哪些部分組成？

探針臺

1、樣品臺(載物臺)：是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會根據晶圓的尺度來規劃大小，并配套了相應的精細挪動定位功用。
2、光學元件：這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上縮小察看待測物，以便精確地將探針jian端對準并放置在待測晶圓/芯片的丈量點上。有的采用平面變焦顯微鏡，有的采用數碼相機，或許兩者兼有。探針臺
3、探針(探針卡)：待測芯片需求測驗探針的銜接，才干與測驗儀器建立銜接。稀有的有一般 DC 測驗探針、同軸DC測驗探針、有源探針和微波探針等。探針頭拔出單個探針臂并裝置在操縱器上。探針jian端尺度和資料取決于被勘探特征的尺度和所需的丈量類型。探針尖直接觸摸被測件，探針臂應與探針尖婚配。探針臺
4、射頻探針：射頻探針的實質為適配器，將芯片丈量接口轉為同軸或波導端口。稀有的射頻探針有GSG型、GS型、GSSG型等。射頻探針的主要參數有高工作頻率、探針針尖距(Pitch)等。現在，同軸接口的射頻探針頻率可達110 GHz(MPI現在適配安利的擴頻模塊可到220G)波導接口的射頻探針頻率高達1.1 THz，有一些類型的探針能夠選配BiasTee。
5、校準：微波射頻在片測驗的校準次要是指S參數校準，能夠經過運用校準片完成校準。一般的校準片提供開路(Open)、短路(Short)、婚配(Match)、直通(Through)和延遲線(Line)標準件，可完成TOSM校準或TRL校準或SOLT或SOLR或LRM等。
6、操縱器(定位器)：探針臺運用操縱器將探針放置在被測物上，它能夠很容易地定位探針并疾速固定它們。通常運用磁鐵或真空把它們固定在恰當的地位。一旦固定，操縱器能夠在X、Y和Z方向上jing確定位探針jian端，并且在某些情況下提供旋轉運動。
7、網絡分析儀：盡管傳統網絡分析儀也能無效地丈量有源器件，例如放大器、混頻器和轉換器，但它們不能提供今后研制和消費工程師所盼望的精度、易用性和速度。而這些功用關于無線通信行業來說至關重要—在這些行業中，產品上市速度往往能夠決議一家公司的成敗。例如，在消費進程中，任何消費延期或產值下降都會ji大影響公司在工夫和本錢方面的底線。另外，運用傳統網絡分析儀對很多不同元器件停止多種丈量是一個綿長和有趣的進程，并且需求不時從頭調整測驗設備設置，使測驗變得更冗繁。為此，當今的工程師需求一個更快、更gao效的代替解決方案。

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