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手動探針臺的運用方法

閱讀：82發布時間：2024-8-28

手動探針臺的運用方法

探針臺

1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門操控開關，使樣品an全且牢固地吸附在卡盤上。
2.運用卡盤X軸/Y軸操控旋鈕移動卡盤渠道，在顯微鏡低倍物鏡聚集下看清楚樣品。探針臺
3.運用卡盤X軸/Y軸操控旋鈕移動卡盤渠道將樣品待測驗點移動至顯微鏡下。
4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚集和樣品x-y，將影像調節明晰,帶測點在顯微鏡視場zhong心。探針臺
5.待測點方位確認好后,再調節探針座的方位,將探針裝上后可眼觀先將探針移到挨近待測點的方位周圍,再運用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,漸漸的將探針移至被測點,此刻動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少量，再運用Z軸旋鈕進行下針，zui后則運用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少量劃痕，證明是否現已接觸。
6.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過銜接的測驗設備開端測驗。常見故障的排除當您運用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術參數。

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