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高溫真空固化爐

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更新時間：2024-07-05 07:40:04瀏覽次數(shù)：97次

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產(chǎn)品簡介

高溫真空固化爐

詳細(xì)介紹

本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體晶圓，硅片制造過程中對聚酰亞胺PSPI一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備，烘箱的溫度可達(dá)450℃

性能特點：
真空度可達(dá)10pa
箱體內(nèi)的氧含量：《20ppm，提供氧含量的檢測接口
日本優(yōu)易控制觸摸屏，升溫斜率控制.
內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作。

型號	工作室尺寸	加熱功率	電源電壓	溫度范圍	溫度波動度	氧含量	真空度
型號	HWD（mm)	KW	V	℃	℃	ppm	pa
YLPI-1	200200400	9	380	常溫~550	±1	20	10
YLPI-2	300300600	12	380	常溫~550	±1	20	10

關(guān)鍵詞：觸摸屏



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