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  • 深圳市中圖儀器股份有限公司

    解鎖微觀測量新境界:光學3D輪廓儀與共聚焦顯微成像的結合應用

    時間:2025-6-13 閱讀:401
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    在當今科技飛速發展的時代,眾多行業正朝著精細化、微型化的方向大步邁進。當芯片上的晶體管小到肉眼不可見,當手機攝像頭鏡片需要納米級平整度,傳統測量工具還能扛得住嗎?在這樣的行業大背景下,SuperView WT3000復合型光學3D表面輪廓儀創新性地集成了白光干涉儀和共聚焦顯微鏡兩種高精度3D測量儀器的性能特點,為微觀測量領域帶來了的變化。

    圖片1.jpg

    集成帶來的測量靈活性飛躍

    傳統單一測量設備要么精度不足,要么無法兼顧復雜結構。而SuperView WT3000白光干涉儀+共聚焦顯微鏡雙模式融合,納米級難題迎刃而解!

    1、白光干涉模式利用白光干涉原理,實現從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量,可測量0.1nm及以下的粗糙度和納米級的臺階高度。

    2、共聚焦模式以共聚焦技術為原理,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,具備銳角度測量能力,可測量傾角接近90°的微觀形貌。

    復合型光學3D表面輪廓儀將這兩者的優勢融合,實現了 “1 + 1> 2" 的效果:

    1、白光干涉模式:納米級“溫柔掃描"  

    不傷表面:非接觸測量,連脆弱納米材料都能“輕撫"檢測。  

    超高精度:粗糙度測量精度達0.005nm,相當于頭發絲的十萬分之一!  

    適用場景:芯片硅片超光滑表面、光學鏡片曲率測量,分分鐘出結果。  

    2、共聚焦顯微鏡模式:復雜結構“透視眼"  

    死角全滅:大角度、深槽結構(如芯片引腳)3D成像無壓力。  

    動態追蹤:實時觀察材料變化,定位鏡片內部缺陷。 


    這種根據不同測量場景和樣品特性,靈活切換測量模式的能力,拓展了儀器的適用范圍,為各行業的研發和生產提供了測量支持。


    提升測量效率與精度

    1、自動測量:一鍵完成多區域檢測,還能自動拼接大尺寸樣品圖像,省時90%。  

    2、智能防翻車:氣浮隔振底座隔絕振動,鏡頭防撞設計,手殘黨也能放心操作。  

    3、超高精度:形貌重復性0.1nm,粗糙度 RMS 重復性為 0.005nm,臺階測量準確度達 0.5%、重復性 0.1%(1σ),光學元件檢測就靠它!  


    多行業應用彰顯關鍵價值

    從手機到火箭,復合型光學3D表面輪廓儀都能干啥?

    - 3C電子:鏡頭、MEMS傳感器、折疊屏鉸鏈,測到就是賺到。  

    - 航空航天:發動機葉片缺陷檢測?直接定位0.1μm級裂紋!  

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    以前測一個芯片要換兩臺設備,現在WT3000十分鐘搞定!你的行業是否面臨納米級測量難題?歡迎留言討論。

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