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								更新時間：2024-02-13 09:05:31瀏覽次數：130次
							
    
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    經營模式：其他
    
						
    商鋪產品：30條
    
						
    所在地區：浙江杭州市
    
																		
					
    
				
    
			
    			
    
                                
    
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    這種真空腔體是為減少了半導體應用中真空腔的個數而研發的，而晶圓容量幾乎不變
    
				
    
				
    
                    詳細介紹
                
    
			    
    
			        
    
			                     
                 
    這種真空腔體是為減少了半導體應用中真空腔的個數而研發的，而晶圓容量幾乎不變。這種結構采用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。
    產品的特點有改善的機臺定位的靜態、動態響應，抽氣時間、穩定時間縮短等等。
             
         
			        
    
			    
    
                                                				
			
    
			
    
		
    
	
    
	
    
    
		
    
			
    
				
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