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這種真空腔體是為減少了半導(dǎo)體應(yīng)用中真空腔的個數(shù)而研發(fā)的，而晶圓容量幾乎不變

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這種真空腔體是為減少了半導(dǎo)體應(yīng)用中真空腔的個數(shù)而研發(fā)的，而晶圓容量幾乎不變。這種結(jié)構(gòu)采用了配備有壓差真空凹槽的預(yù)置空氣軸承的移動真空。產(chǎn)品的特點有改善的機臺定位的靜態(tài)、動態(tài)響應(yīng)，抽氣時間、穩(wěn)定時間縮短等等。

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