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閱讀：332發布時間：2024-2-21
zygo白光干涉儀的特征與維護
干涉分析儀器是用來分析光線在兩個不同的表面上反射后產生的干涉條紋。它的基本原理是由不同的光學元件構成參考光路和檢測光路。
一、運作方式
干涉法是一種用干涉原理測量光程差異并測定有關物理量的光學儀器。如果兩個相干光之間的光程差異發生變化，就會非常敏感地引起干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由于它穿過的幾何距離或介質折射率的變化而引起的，因此，通過改變干涉條紋的運動，就可以測出與此相關的其它物理量。光程差的測量精度是決定光程差測量精度的關鍵因素之一，干涉條紋每移動一條條紋的間隔就會改變一個波長(~10-7米)，因此干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度是其它測量方法的。
二、特征：
1、非接觸測量：避免損壞物體。
2、三維表面測量：表面高度的測量范圍為1nm-200μm。
3、多視場鏡頭：方便物鏡快速切換。
4、納米級的分辨率：垂直分辨率可達到0.1nm。
5、高速數字信號處理器：只需幾秒鐘就可以完成測量。
6、掃描器：閉環控制系統。
7、工作臺：氣動裝置，抗震，抗壓力。
8、測量軟件：基于Windows操作系統的用戶界面，操作簡單快捷。
三、維護。
1、儀器應妥善放置在干燥、潔凈的房間內，防止震動，儀器移動時應將底座托住，以防導軌變形。
2、光學零件不用時，應存放在干凈的干燥盆內，以防發霉。反射鏡、分光鏡一般不允許擦洗，需要擦拭的時候，要先用備件毛刷仔細撣去灰塵，再用脫脂清潔棉球滴上酒精和混合液輕擦。
3、傳動部件應有良好的潤滑。尤其是導軌、絲桿、螺母及軸孔部分，采用T5精密儀表油潤滑。
4、使用時，各調節部位要用力適度，不能強旋、硬拉。
5、導軌上的絲桿應防止刮痕、生銹，使用完畢后，仍不失油。
6、儀器部件經精密調整后，應涂上紅漆，不得隨意轉動。
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