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    上海翰軍實驗設備有限公司


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    二硫化鉬CVD氣相沉積系統

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    參  考  價面議
    具體成交價以合同協議為準

    產品型號H-CVD-1200S

    品       牌

    廠商性質其他

    所  在  地上海

    聯系方式:肖經理查看聯系方式

    更新時間:2023-07-28 09:20:14瀏覽次數:119次

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    經營模式:其他

    商鋪產品:43條

    所在地區:上海上海

    聯系人:肖經理

    產品簡介

    一、概述硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下,穩定控制硫蒸汽的蒸發時機和蒸發溫度

    詳細介紹

    一、概述

    硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下,穩定控制硫蒸汽的蒸發時機和蒸發溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計(在1000Pa以上測量不受氣體種類影響,耐硫蒸氣腐蝕),通過調節真空蝶閥的開啟程度調節爐管內壓力穩定,在1200℃以下的工藝溫度穩定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。

    二、設備組成

    HCVD-1200S雙溫區管式爐,HTF400C硫粉預熱器(雙溫區管式爐與預熱器可滑動),質量流量計供氣系統,機械式真空泵等組成。

    三、主要技術參數

    硫粉預熱器

     

    型號:HTF-400C

    工作溫度:350

    溫度:400

    升溫速率:30/min

    推薦升溫速率:10/min

    控溫方式:智能化30段可編程控制

    工作電壓:AC220 V

    額定功率:800W

    控溫精度:±1

    加熱元件:電阻絲

     

    雙溫區硫化爐 

    型號:HCVD-1200S

    技術參數:

    額定功率(KW):3

    額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

    溫度():12001 hour

    持續工作溫度(℃):1100

    升溫速率(℃/min):≤50

    爐管尺寸(mm):

    高純石英管Φ50×1500mm

    加熱區長度(mm):440mm

    恒溫區長度(mm:200mm  

    控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

    控溫精度():±1

    加熱元件:電阻絲

    供氣系統GMF3Z

     

    質量流量計

    重量:35Kg

    外形尺寸:600x600x650mm

    連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

    標準量程(N2標定)50sccm200sccm500sccm (可根據用戶要求定制)

    準確度:±1.5%

    線性:±0.51.5%

    重復精度:±0.2%

    響應時間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

    工作壓差范圍:0.10.5 MPa

    壓力:3MPa

    接口:Φ6,1/4''

    顯示:4位數字顯示

    工作環境溫度:5~45高純氣體             

    內外雙拋不銹鋼管:Φ6

    壓力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/ 

    截止閥:Φ6

    低真空機組VAU-02

     

    技術參數:

    空氣相對濕度≤85%

    工作電電壓:220V±10%  50~60HZ 

    功率:1千瓦

    抽氣速率:4L/s

    極限真空:4X10-2Pa

    實驗真空度:1.0X10-1Pa

    容油量:1.1L

    進氣口口徑:KF25

    排氣口口徑:KF25

    轉速:1450rpm

    噪音:50dB

    外型尺寸:450×180×240mm

    配真空粉塵過濾器,DN25手動蝶閥用于控制爐管內壓力,INFICON PCG554復合真空計

     


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