上海朝捷科學儀器有限公司
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廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海市
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更新時間:2023-05-09 07:40:02瀏覽次數(shù):69次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)特點等離子裝置在半導體、電子材料干洗中的應用越來越廣泛
特點
等離子裝置在半導體、電子材料干洗中的應用越來越廣泛。
例如:在硅芯片的光刻膠剝離、有機膜的去除、界面活性化
處理、微米研磨、碳化膜去除等領(lǐng)域Yamato等離子產(chǎn)品都發(fā)
揮了積極的作用。
RIE/DP方式平行平板型PDC/V系列產(chǎn)品
可以使用RIE/DP雙模式進行處理,用于芯片蝕刻、干洗、以及傳感器等各種COB表面清洗和活性化處理。Wire Bonding穩(wěn)定性提高,對金屬氧化物、金屬氫氧化物進行蝕刻,去除電極表面的結(jié)合障礙物。
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