上海朝捷科學儀器有限公司
特點等離子裝置在半導體、電子材料干洗中的應用越來越廣泛
特點
等離子裝置在半導體、電子材料干洗中的應用越來越廣泛。
例如:在硅芯片的光刻膠剝離、有機膜的去除、界面活性化
處理、微米研磨、碳化膜去除等領域Yamato等離子產品都發
揮了積極的作用。
DP方式圓柱型PR/PB系列產品
硅芯片光刻膠剝離、有機膜去除、界面
活性化、微研磨等處理用。
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