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    濟(jì)南魯熱儀器有限公司


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    滑桿式CVD系統(tǒng)

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    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠商性質(zhì)其他

    所  在  地濟(jì)南市

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    更新時間:2023-10-01 11:03:53瀏覽次數(shù):152次

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    產(chǎn)品簡介

    CVD系統(tǒng)應(yīng)用:CVD是化學(xué)氣相沉積的英文簡寫,本公司生產(chǎn)的CVD系統(tǒng)是利用管式爐加熱,把構(gòu)成固態(tài)沉積物的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入爐管內(nèi),在爐管內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)沉積物的技術(shù)。CVD系統(tǒng)分類:CVD技術(shù)常常通過反應(yīng)類型或者壓力來分類,包括低壓CVD(LPCVD),常壓CVD(APCVD),亞常壓CVD(SACVD),超高真空C......

    詳細(xì)介紹

    產(chǎn)品名稱:滑桿式CVD系統(tǒng)
    產(chǎn)品型號: CVD-12DZHVK 單溫區(qū)滑桿式CVD系統(tǒng)
          CVD-12DZDHVK 雙溫區(qū)滑桿式CVD系統(tǒng)
          CVD-12DZTHVK 三溫區(qū)滑桿式CVD系統(tǒng)

    雙溫區(qū)滑竿式CVD系統(tǒng)單溫區(qū)滑竿式CVD系統(tǒng)

    CVD
    系統(tǒng)應(yīng)用:

    CVD是化學(xué)氣相沉積的英文簡寫,本公司生產(chǎn)的CVD系統(tǒng)是利用管式爐加熱,把構(gòu)成固態(tài)沉積物的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入爐管內(nèi),在爐管內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)沉積物的技術(shù)。

     

    CVD系統(tǒng)分類:

    CVD技術(shù)常常通過反應(yīng)類型或者壓力來分類,包括低壓CVD(LPCVD),常壓CVD(APCVD),亞常壓CVD(SACVD),超高真空CVD(UHCVD),等離子體增強CVD(PECVD),高密度等離子體CVD(HDPCVD)以及快熱CVD(RTCVD)。然后,還有金屬有機物CVD(MOCVD),根據(jù)金屬源的自特性來保證它的分類,這些金屬的典型狀態(tài)是液態(tài),在導(dǎo)入容器之前必須先將它氣化。

     

    CVD系統(tǒng)組成:

    CVD系統(tǒng)=管式爐+真空抽氣系統(tǒng)+多路供氣系統(tǒng)(或者液態(tài)蒸發(fā)系統(tǒng)

     

    滑桿式CVD系統(tǒng)配置選擇:

    配置一:雙溫區(qū)管式真空氣氛爐:

    SK2-12DZH 單溫區(qū)滑管式管式真空氣氛爐,1200℃,管徑:25、50、60、80、100mm

    SK2-12DZDH 雙溫區(qū)滑桿式管式真空氣氛爐,1200℃,管徑:60、80、100mm

    SK2-15DZTH 三溫區(qū)滑桿式管式真空氣氛爐,1200℃,管徑:60、80、100mm

    三溫區(qū)滑竿式管式爐單溫區(qū)滑竿式管式爐




    配置二:真空抽氣系統(tǒng):
         可以選配:LVSE-0.1LVSE-0.1AHVSE

    LVSE-0.1低真空控制系統(tǒng)
    產(chǎn)品應(yīng)用:

    該系統(tǒng)為一組低真空機組設(shè)備,控制設(shè)備真空度小于1Pa一下;配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設(shè)備使用

    設(shè)備組成:設(shè)備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、真空波紋管、支架、真空泵組成

    技術(shù)參數(shù):

    1、 真空泵:FX-16

    2、 真空泵抽氣速度:16m3/h4L/s

    3、 真空泵極限壓強:(Pa)≤4*10-2

    4、 高真空擋板閥:KF25不銹鋼高真空擋板閥

    5、 真空波紋管:KF25*1000mm

    6、 真空計VRD-I:規(guī)管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)

    7、 電源功率:220v/50Hz0.8kw

    8、 出氣進(jìn)氣口規(guī)格:KF25

    9、 連接口:2KF25接口


    低真空系統(tǒng)



     

     LVSE-0.1A可調(diào)低真空控制系統(tǒng)


    產(chǎn)品應(yīng)用:
       該系統(tǒng)為一組低真空恒壓機組設(shè)備,控制設(shè)備真空壓力恒定在1.0KPa—100.0KPa之間;配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設(shè)備使用

    設(shè)備組成:設(shè)備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、真空波紋管、支架、真空泵、變速器、電動調(diào)節(jié)閥門等組成

    技術(shù)參數(shù):

    1、 真空泵:FX-16

    2、 真空泵抽氣速度:16m3/h4L/s

    3、 真空泵極限壓強:(Pa)≤4*10-2

    4、 高真空擋板閥:KF25不銹鋼高真空擋板閥

    5、 真空波紋管:KF25*1000mm

    6、 真空計:VRD-I:

    7、 規(guī)管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)

    8、 電源功率:220v/50Hz0.8kw

    9、 調(diào)速變頻器:0.75kw

    10、      壓強控制范圍:1.0KPa—100KPa

    11、      壓強控制精度:±1KPa

    12、      出氣進(jìn)氣口規(guī)格:KF25

    13、      連接口:2KF25接口

                    
    可調(diào)真空系統(tǒng)





    HVSE高真空控制系統(tǒng):

    產(chǎn)品應(yīng)用:
       該系統(tǒng)為一組復(fù)合分子泵、前級抽氣泵機組設(shè)備,控制設(shè)備真空度小于
    8*10-4Pa;配合真空管式爐、箱式真空氣氛爐等高真空設(shè)備使用;廣泛應(yīng)用于表面分析、半導(dǎo)體設(shè)備、等離子體技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)研究

    設(shè)備組成:設(shè)備由復(fù)合分子泵、前級抽氣泵、隔斷放氣閥、前級管路、分子泵電源、高真空檢測系統(tǒng)(復(fù)合真空計)、控制電源組成

    產(chǎn)品特點:

    預(yù)抽氣旁路設(shè)計,前級抽氣不經(jīng)過分子泵避免預(yù)抽氣體中顆粒進(jìn)入分子泵

    技術(shù)參數(shù):

    1、 前級真空泵:TRP-24

    2、 真空泵抽氣速度:4L/s

    3、 分子泵:FJ-620

    4、 抽氣速率:600L/s

    5、 分子泵極限壓強:6*10-6Pa

    6、 建議啟動壓強:<100Pa

    7、 排氣口法蘭:KF40

    8、 進(jìn)氣口法蘭:DN160LF

    9、 波紋管:KF40*1000mm

    10、      復(fù)合真空計:ZDF-III

    11、      真空電磁擋板閥:KF40

    12、      真空腔體真空度:<8*10-4Pa

    13、      工作電壓:220v/50Hz

    高真空系統(tǒng)



     


    配置三:多路供氣系統(tǒng):

    ZDS-X多路質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)

    系統(tǒng)應(yīng)用:
      ZDS-X多路質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)是實現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)

    設(shè)備組成:多路進(jìn)氣管路、質(zhì)子流量計、混氣罐、出氣管路組成

    產(chǎn)品特點:

    1、 幾路進(jìn)氣客戶自由定制,標(biāo)準(zhǔn)接口,方便連接

    2、 液晶觸摸屏控制輸入每路氣體流量,實時查看各路氣體流量曲線

    3、 每條氣路均設(shè)置高壓截止閥,方便切斷氣路

    技術(shù)參數(shù):

    1、 氣體通路:X條客戶自由定制

    2、 氣體類型:客戶自由選擇

    3、 流量計量程:5—500SCCM1—10SLM自由選擇

    4、 工作電壓:220v/50Hz

    5、 工作壓差:0.1-0.5MPa

    6、 壓力:3MPa

    7、 準(zhǔn)確度:±1.0%F.S

    8、 質(zhì)子流量計相應(yīng)時間:<1S

    9、 測量范圍:0.1-0.15MPa

    10、      混氣罐:304不銹鋼

    11、      進(jìn)出氣接口:直徑6mm不銹鋼卡套接口

    12、      管道:內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管;外部管采用6mm聚四氟管

    13、      控制系統(tǒng):PLC控制系統(tǒng),液晶觸摸屏輸入,每路氣路獨立控制






    FDS-X多路浮子流量計控制供氣系統(tǒng)


    系統(tǒng)應(yīng)用:
       FDS-X多路浮子流量計控制供氣系統(tǒng)是實現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)

    設(shè)備組成:多路進(jìn)氣管路、浮子流量計、混氣罐、出氣管路組成

    產(chǎn)品特點:

    1、 幾路進(jìn)氣客戶自由定制,標(biāo)準(zhǔn)接口,方便連接

    2、 手動調(diào)節(jié)浮子流量計,方便快接

    3、 每條氣路均設(shè)置高壓截止閥,方便切斷氣路

    技術(shù)參數(shù):

    1、 氣體通路:X條客戶自由定制

    2、 氣體類型:客戶自由選擇

    3、 流量計量程:10-100ml/min25-250ml/min50-500ml/min自由選擇

    4、 壓力表:-0.1MPa---0.15MPa0.01MPa/

    5、 混氣罐:304不銹鋼

    6、 進(jìn)出氣接口:直徑6mm

    7、 管道:內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管


    多路浮子流量控制系統(tǒng)







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