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（研發中心）分子泵機組

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更新時間：2025-01-11 08:50:34瀏覽次數：234次

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北京中科科美科技股份有限公司

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產品簡介

（研發中心）分子泵機組

詳細介紹

型號Model	單位 Unit	FJ-80
進氣口法蘭 Flange（In）		DN63 ISO-K
進氣口法蘭 Flange（In）		DN63 CF
排氣口法蘭 Flange（Out）	ISO-KF	DN16
抽速速率 Pumping Speed	l/s	N₂：62
		He：55
		H₂：34
		Ar：65
壓縮比 Compression Ratio		N₂: 10⁹
		He: 10⁵
		H₂：10⁴
		Ar：10⁹
極限壓強 ultimate Pressure	Pa	3×10^-5(ISO-K);5×10^-6(CF)
建議啟動壓強recommended fore-vacuum pressure	Pa	＜50
前級泵型號forevacuum pump		GHD-031B①（標配 standard）
冷卻方式 Cooling type,Standard		風冷 Air
冷卻水流量 Cooling Water Consumption	L/min	>1
冷卻水溫度 Cooling Water Temperature	℃	≤25
輸入電壓頻率Input voltage / frequency	V/Hz	220±20/50
環境溫度 environment temperature	℃	5-40
安裝方式 mounting position		垂直 Veritcal
適配電源型號Controller Model
長×寬×高 LWH	mm	400×300×260
重量 Weight	kg	16-21