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    1、真空系統極限真空度：5×10-8Pa(至少帶4個采樣氣瓶)　　2、真空系統漏率：5×10-10Pa.m3/S，乙方提供氦質譜檢漏儀檢測　　3、真空系統要求為無油，達到極限真空后四極質譜掃描應無質量數大于44的譜峰。
    
				
    
				
    
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     　　1、真空系統極限真空度：5×10-8Pa(至少帶4個采樣氣瓶)
     
     　　2、真空系統漏率：5×10-10 Pa.m3/S，乙方提供氦質譜檢漏儀檢測
     
     　　3、真空系統要求為無油，達到極限真空后四極質譜掃描應無質量數大于44的譜峰
     
     　　4、真空系統(含四極質譜儀)耐300℃烘烤，采樣氣瓶耐400℃烘烤，控溫精度：±5℃
                                  
                                                                                                                                                                                    
                                                                     
                                         
                                                                                 
                                     
                                                                     
                                 
                                                 
			        
    
			    
    
                			    
                                                				
			
    
			
    
		
    
	
    
	
    
    
		
    
			
    
				
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