北京中科科美科技股份有限公司
此超高靈敏度檢漏設備,通過分子泵抽氣使檢漏室達到超高本底,吸氣泵將殘留在檢漏室內部的氫氣分子抽出,四極質譜檢測從工件泄漏出的所有氦氣,提高了陀螺檢漏靈敏度,從而提高陀螺儀的控制精度。本系統的最小可檢漏率可達1×10-13Pa·m3/s。本設備適用于陀螺、紅外探測器杜瓦等微小精密器件超高靈敏度檢漏。
設備特點
此超高靈敏度檢漏設備,通過分子泵抽氣使檢漏室達到超高本底,吸氣泵將殘留在檢漏室內部的氫氣分子抽出,四極質譜檢測從工件泄漏出的所有氦氣,提高了陀螺檢漏靈敏度,從而提高陀螺儀的控制精度。本系統的最小可檢漏率可達1×10-13Pa·m3/s。本設備適用于陀螺、紅外探測器杜瓦等微小精密器件超高靈敏度檢漏。
技術性能
1. 超高真空:極限真空度8×10-7Pa。
2. 最小可檢漏率:1×10-13Pa.m3/s。
3. 系統漏率: 5×10-12Pa m3/s。
4. 烘烤溫度:300℃。
5. 檢漏室尺寸φ320×H300,金屬絲密封。
6. 清潔無油真空系統。
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