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超高真空排氣臺(tái)

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應(yīng)用于光探測(cè)器用電子玻璃材料、光敏微精玻璃等光電子玻璃產(chǎn)品的制造。

詳細(xì)介紹

　　應(yīng)用領(lǐng)域

　　應(yīng)用于光探測(cè)器用電子玻璃材料、光敏微精玻璃等光電子玻璃產(chǎn)品的制造。

　　技術(shù)性能

　　1．工位接口數(shù)量：6-20工位；

　　2．極限真空度：抽排的工件極限真空度10-8Pa；

　　3．無(wú)油污染：采用無(wú)油機(jī)械泵與分子泵，避免油蒸汽對(duì)工作環(huán)境的污染；

　　4．烘烤：烘箱加熱，烘烤溫度可達(dá)到200℃且具有溫度顯示和可調(diào)功能；

　　5．工位處配置充N2接口，使在卸下工件時(shí)能夠充入N2保護(hù)。



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