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SmartSE,智能型多功能橢偏儀SmartSE是一款通用型薄膜測量工具
Smart SE, 智能型多功能橢偏儀
Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快，準確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學常數（n, k）以及薄膜結構特性（如粗糙度、光學梯度及各向異性等）。
Smart SE利用 DeltaPsi2 軟件平臺在幾分鐘內對450-1000nm的光譜數據進行采集、建模
分析。自動化雙軟件操作平臺，從簡化的工作流程到研發，滿足不同層次和需求的客戶。
Smart SE是一款性價比的薄膜研發工具，以經濟實惠的價格提供了研究級的性能。標配一套完整樣品可視化系統，準確定位分析位置及區域，7個不同尺寸的微光斑可用于微區特征分析。幾秒鐘即可獲得完整的16位穆勒矩陣，用于復雜樣本的研究。
Smart SE配置靈活、具備多角度測量能力，可方便實現在線與離線配置切換。是一款針對單層和多層薄膜進行簡單、快速、準確表征和分析的工具, 可用于在線原為測試。Smart Se可以滿足各類應用領域，包括微電子，光伏，顯示，光學涂料，表面處理和有機化合物等。
產品優勢
●快速、準確
●易于升級
●光斑可視化
可選附件
●全自動量角器，入射角度從450 到900可調，步徑0.010
●全自動樣品臺：直徑200mm和300mm可選
●可通過法蘭耦合在反應腔實現在線監測
●冷熱臺
●液體樣品池和電化學反應池
●十字星自準直系統
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