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FS4001氬氣流量傳感器適用介質空氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、氮氣、氧氣、氬氣等工作壓力0
| 適用介質 | 空氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、氮氣、氧氣、氬氣等 | 工作壓力 | 0.5（MPa） | |
| 工作溫度 | -10+55（℃） |
微小氣體質量流量計 流量傳感器主要參數：
| 性能參數 | FS4001 | 單位 | |
| 通 徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
| 流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SCCM |
| 量程比 | ≥100:1 | ||
| 精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
| 重復性 | 0.25 | %讀數 | |
| 零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
| 輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
| 響應時間 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
| 工作電源 | 8~18Vdc,50mA | ||
| 輸出方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc | ||
| 流量壓損 | 350 | 300 | pa |
| 工作壓力 | 0.5 | MPa | |
| 工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
| 存儲溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
| 工作濕度 | <95%RH（無結冰、無凝露） | ||
| 機械接口 | 可拆式軟管接頭 | ||
| 校準方式 | 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa | ||
| 重量 | 15 | g | |
| 微小氣體質量流量計 流量傳感器 由成都維克安科技有限公司提供，我們將竭誠為您服務！ |
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