SMC-電子式真空比例閥
在過程數據內設置診斷位，
通過循環（周期性）的過程數據內的診斷位，可方便地監控產品的異常狀態。
通過循環（周期性）的過程數據，可第 1 時間掌握元件的異常狀態，并可通過非周期性數據對詳細的異常內容進行監視。
診斷功能
·輸出壓力在設定壓力的±10%以內
·通電時間通知
·殘壓錯誤
·目標值超范圍
·壓力值欠范圍（LLL）
·壓力值超范圍（HHH）
·電源電壓降低
·電源電壓超過
·警告發生
·內部通信錯誤
| 型號 | ITV001□ | ITV003□ | ITV005□ |
| 至低供給壓力 | 設定壓力＋0.1MPa |
| 至高供給壓力 | 0.2MPa | 1.0MPa |
| 設定壓力范圍 | 0.001~0.1MPa | 0.001~0.5MPa | 0.001~0.9MPa |
| 電源 | 電壓 | DC24V±10%、DC12~15V |
| 消耗電流 | 電源電壓DC24V型：0.12A以下電源電壓DC12~15V型：0.18A之內 |
| 輸入信號 | 電壓型 | DC0~5V、DC0~10V |
| 電流型 | DC4~20mA、DC0~20mA（匯式） |
| 輸入阻抗 | 電壓型 | 約10kΩ |
| 電流型 | 約250Ω |
| 輸出信號注4） | 模擬輸出 | DC1~5V（輸出電阻：約1kΩ） 輸出精度±6%F.S.之內 |
| 直線性 | ±1%F.S.之內 |
| 遲滯 | 0.5%F.S.之內 |
| 重復性 | ±0.5%F.S.之內 |
| 靈敏度 | 0.2%F.S.之內 |
| 溫度特性 | ±0.12%F.S.／℃之內 |
| 使用溫度范圍 | 0～50℃（未結露） |
| 防護等級 | 相當于IP65※ |
| 連接種類 | 內置快換接頭 |
| 連接尺寸 | 單體適用 | 公制尺寸 | z、x、c：?4 |
| 英制尺寸 | z、x、c：?5/32" |
| 集裝式 | 公制尺寸 | z、c：?6；x：?4 |
| 英制尺寸 | z、c：?1/4"；x：?5/32" |
| 重量 | 100g以下（無可選項） |
